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산화탄탈륨의 보호 코팅 응용 분야
산화탄탈륨은 화학적으로 매우 견고한 것으로 나타났습니다. 반응성 스퍼터링 산화탄탈륨 박막은 공격적인 매체에 노출되는 센서의 보호 코팅으로 조사되었습니다.
스퍼터 증착된 비정질 산화탄탈의 스텝 커버리지는 합리적이지만 금속화 라인은 커버하기 어렵습니다. 스퍼터링된 산화탄탈륨은 높은 유전체 강도를 나타내며 0.5mm 두께 필름의 핀홀 밀도는 3cm 미만입니다.
이 센서 개념에 대한 솔루션으로 보호 코팅을 적용하려면 코팅이 충족해야 할 여러 가지 특성이 필요하며, 그 목록은 다음과 같습니다:
I. 내식성: 코팅의 최대 허용 두께와 최소 요구 수명은 관심 매체의 에칭 속도 상한을 설정합니다.
2. 낮은 잔류 응력 및 얇은 두께: 멤브레인의 강성 변화로 인한 감도 저하를 제한합니다.
3. 스텝 커버리지: 인터커넥트 및 접촉 창에 대한 커버리지가 열악하면 센서의 성능이 저하될 수 있는 부위입니다.
4. 핀홀 밀도: 일반적으로 센서의 노출된 영역에는 핀홀이 허용되지 않습니다. 에칭제가 코팅을 관통하여 전기 활성 성분을 저하시키거나 에칭이 부족하여 결국 코팅이 원치 않게 벗겨질 수 있습니다. 핀홀이 입자 오염으로 인한 경우, 더 두꺼운 필름을 성장시켜 핀홀을 제거할 수 있습니다.
5. 전기적 특성: 유전체 필름은 센서의 전기 부품을 전기가 통하는 매체로부터 절연하는 데 필요합니다.
6. 패턴화 가능: 많은 경우, 본드 패드에 접근하기 위해 보호 코팅을 패턴화해야 합니다. 습식 에칭과 같은 배치 공정에서 패터닝하는 것이 바람직합니다.
7. 차압 센서의 양면을 보호하기 위한 양면 증착.
8. 날카로운 모서리 커버: 컨포멀 코팅이 필요합니다.
9. 깊은 캐비티 커버: 캐비티 바닥까지 컨포멀 코팅이 필요합니다.
탄탈륨, 탄탈륨 합금 및 산화탄탈륨의 사용은 이미 센서 용도로 제안되었습니다. 게다가 탄탈륨은 매우 안정적이기 때문에 화학 처리 장비에 사용됩니다. 그 이유는 표면에 화학적으로 매우 불활성인 얇은 비정질 산화탄탈륨 층이 형성되기 때문입니다.
탄탈륨과 그 산화물 및 질화물은 물리적 기상 증착, 화학 기상 증착 또는 열 산화를 통해 증착할 수 있습니다. 따라서 이러한 소재를 매우 유연하게 사용할 수 있습니다.
Chin Trento
