실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이 설명
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이는 고도로 정제된 등방성 흑연의 표면을 화학 기상 증착 (CVD) 공정으로 실리콘 카바이드의 미세한 층으로 코팅하여 만들어집니다. SiC 코팅 흑연 트레이는 반도체 및 코팅에 널리 사용됩니다.
CVD 공정은 다공성 없이 매우 높은 순도와 이론적 밀도의 SiC 코팅을 제공합니다. 또한 실리콘 카바이드는 매우 단단하기 때문에 거울과 같은 표면으로 연마할 수 있습니다. CVD 실리콘 카바이드(SiC) 코팅은 초고순도 표면과 뛰어난 마모 내구성 등 여러 가지 장점을 제공합니다. 코팅된 제품은 고진공 및 고온 환경에서 뛰어난 성능을 발휘하므로 반도체 산업 및 기타 초청정 환경의 애플리케이션에 이상적입니다.
스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈는 실리콘 카바이드 코팅 그라파이트 트레이도 제공합니다.
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이 사양
화합물 공식
|
SiC
|
분자량
|
40.1
|
외관
|
검은색
|
녹는점
|
2,730℃(4,946℉)(분해)
|
밀도
|
3.0 ~ 3.2 g/cm3
|
전기 저항
|
1 ~ 4 10x Ω-m
|
푸아송 비율
|
0.15 ~ 0.21
|
비열
|
670 ~ 1180 J/kg-K
|
코팅 두께
|
50~500um
|
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이의 장점
- 실리콘 카바이드 층은 매우 단단하고 고온에서 안정적입니다. 산화, 부식 및 내화학성이 우수합니다.
- SiC 코팅 흑연은 흑연 입자의 분리와 산란은 물론 흑연 매트릭스에서 가스 및 불순물의 방출을 방지합니다.
실리콘 카바이드 코팅 그라파이트 트레이 애플리케이션
- 질화규소는 열충격 저항성이 뛰어나고 고에너지 플라즈마를 견딜 수 있기 때문에 CVD 실리콘 카바이드 코팅은 이미 반도체 산업에서 MOCVD 트레이, RTP, 산화물 에칭 챔버 등에 적용되어 왔습니다.
- 실리콘 카바이드는 반도체 및 코팅에 널리 사용됩니다.
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이 포장
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이는 보관 및 운송 중 손상을 최소화하고 제품의 품질을 원래 상태로 보존하기 위해 세심하게 취급됩니다.
실리콘 카바이드 코팅 그라파이트 트레이 FAQ
Q1: 실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이의 주요 특징은 무엇인가요?
A1: 실리콘 카바이드(SiC) 코팅 흑연 트레이는 흑연의 우수한 고온 저항성과 SiC 코팅이 제공하는 향상된 내식성 및 산화 방지 기능을 결합한 제품입니다. 고온 용광로, 야금 및 세라믹 산업에서 널리 사용되며 뛰어난 화학적 안정성과 내마모성을 제공합니다.
Q2: 이 트레이의 최대 작동 온도는 얼마인가요?
A2: 실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이는 일반적으로 트레이의 크기와 코팅 두께에 따라 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있습니다.
Q3: SiC 코팅은 트레이의 성능을 어떻게 개선하나요?
A3: SiC 코팅은 흑연 트레이를 고온 산화로부터 보호하여 화학적 내식성을 크게 향상시킵니다. 이 보호층은 열악한 환경에서 표면 열화를 방지하여 트레이의 수명을 연장합니다.