1100C 진공 챔버 노와 VBF-1200X-H8 설명
1100C 진공 챔버 노는 저항선 스티어링을 가열 요소로 사용하며, 2중 구조의 외피와 50단계 프로그램 온도 조절, K형 열전대가 있습니다. 이 노는 고순도 알루미나 섬유 재질로 만들어졌습니다. 최대 온도는 1100도까지 도달할 수 있으며 1000도에서 지속적으로 작동할 수 있으며, 온도 제어 정확도는 ±1도입니다. 이 노는 고른 온도장, 낮은 표면 온도, 빠른 온도 상승 및 하강, 에너지 절약의 장점이 있습니다.
1100C 진공 챔버 노와 VBF-1200X-H8 사양
가열 속도
|
|
가열 요소
|
|
전력
|
- 전압: 단상 208 - 240 VAC / 50/60Hz
- 최대 4KW
- 참고: 전원 케이블 포함, 플러그 제외. 플러그는 별도 설치 필요
|
작동 온도
|
- <= 1000 ℃ 지속
- 최대 1100 ℃, < 30분
- 온도 균일성: ±1℃
- 참고: <= 1150 ℃ 지속 가능하며, 추가 비용으로 GE214 등급 쿼츠 튜브를 요청할 수 있습니다.
|
쿼츠 튜브 및 유효 가열
|
- 튜브 크기: 8" O.D. x 7.5" I.D x 13.4" L.
- 가열 영역: 7.5" ID x 8.5" 깊이 (7.6리터)
- 균일 온도 구역: 중앙 위치에서 ±5℃의 6" 직경 x 3.5" 깊이
- 쿼츠 튜브는 교체 가능합니다.
|
가스 입구 및 출구 및 물 냉각
|
- 노의 왼쪽에 밸브가 있는 가스 퍼지 입구 (1/4" 호스 어댑터)
- 불활성 가스를 챔버에 도입할 수 있습니다.
- 지속적인 가스 흐름이 필요한 경우 추가 가스 입구 및 열전대 프로브를 참조하십시오.
- 진공 밀폐 O링을 보호하기 위해 플랜지 안에 물 냉각 재킷이 있습니다. 왼쪽에 있는 냉각수 입구 및 출구는 지름 12mm의 두 개의 커넥터를 통해 칠러에 연결됩니다. 폴리우레탄 파이프가 필요하며 (16 l/min 물 흐름 요구).
- 500℃ 이상의 가열 온도는 칠러가 필요합니다 (열 차단이 배치됨)
|
온도 조절기
|
- NRTL 인증 디지털 온도 조절기가 포함되어 있습니다.
- 비례-적분-미분 제어(PID 제어) 및 자동 튜닝 기능
- 램프, 냉각 및 대기 단계가 있는 30단계 프로그래밍
- 내장된 과열 경고 및 열전대 고장 경고
- ±1℃ 온도 제어 정확도
- PC와 연결할 수 있는 기본 DB9 PC 통신 포트 포함
- Eurotherm 온도 조절기는 추가 비용으로 제공되며, 정확도는 ±0.1℃입니다.
|
옵션
|
- 샘플 홀더는 노에 포함되어 있지 않습니다.
- 6"까지 웨이프를 어닐링하기 위해 쿼츠 웨이퍼 보트를 주문할 수 있습니다.
- 선택할 수 있는 쿼츠 열 차단이 요청 시 추가 제공되며, 이는 더 높은 진공 수준을 달성하고 잠재적인 오염 문제를 피하는 데 도움이 됩니다. 주문 시 Quartz Thermal Block를 요청하십시오.
- 4개의 와이어(예: Pt 와이어)를 하이템퍼러쳐에서 전기적 성질을 측정하기 위해 구멍을 통해 삽입하기 위해 사용할 수 있는 4홀 1/4" 알루미나 튜브는 추가 비용으로 제공됩니다.
|
보증
|
- 평생 지원을 포함한 1년 제한 보증
- 주의: 부식성 및 산성 가스 사용으로 인한 손상은 SAM 1년 제한 보증의 적용을 받지 않습니다.
|
인증
|
- CE 인증
- NRTL 또는 CSA 인증은 요청 시 추가 비용으로 제공됩니다.
- 특허 번호: ZL-2011-2-0102249.4 2011-5-19 기준
|
1100C 진공 챔버 노와 VBF-1200X-H8 응용 분야
1100C 진공 챔버 노는 1100℃의 온도에서 진공 또는 다양한 가스 환경에서 반도체 웨이퍼(최대 6")의 칼신 또는 어닐링을 위해 설계되었습니다. 또한 진공 브레이징 노로 사용할 수 있습니다.
1100C 진공 챔버 노와 VBF-1200X-H8 포장
저희 1100C 진공 챔버 노와 VBF-1200X-H8는 제품의 품질을 유지하기 위해 보관 및 운송 중 주의 깊게 처리됩니다.