텅스텐 AlN 히터 설명
텅스텐 AlN 히터는 텅스텐의 고온 특성과 알루미늄 나이트라이드의 우수한 열 전도성 및 전기 절연 특성을 결합합니다. 이러한 조합은 반도체 제조, 첨단 재료 연구, 산업 난방, 전자 및 과학 장비의 고온 및 고정밀 응용 분야에 적합합니다. 극한 온도를 견디고 균일한 난방을 제공하며 화학적 및 기계적 열화에 저항하는 능력은 첨단 기술 및 산업 공정에서 매우 중요합니다.
텅스텐 AlN 히터 사양
히터 재료
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텅스텐
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코팅
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AlN
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선형 팽창 계수
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4.3 x 10-6
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열 전도성 (W/mK)
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170-180
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크기
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맞춤형
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난방 속도
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≤300 ℃/s
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텅스텐 AlN 히터 응용
1. 반도체 제조:
- CVD 및 PVD 공정: 박막 및 코팅 생산을 위한 화학 기상 증착(CVD) 및 물리적 기상 증착(PVD) 시스템에서 사용됩니다.
- 에피택시: 반도체 웨이퍼의 에피택시 성장 과정에서 정밀한 온도 제어가 중요한 경우에 사용됩니다.
2. 고급 재료 연구:
- 고온 실험: 고온 환경에서 제어된 실험을 요구하는 실험실에서 사용됩니다.
- 고급 재료 합성: 높은 온도와 정밀한 열 관리가 필요한 재료 합성에 이상적입니다.
3. 산업 난방 응용:
- 로너 및 가마: 재료 가공 및 열처리 응용을 위한 고온 로너 및 가마에서 사용됩니다.
- 열처리: 어닐링, 소결 및 브레이징과 같은 공정에서 사용됩니다.
4. 전자 및 광전자:
- LED 제조: 높은 온도와 정밀 제어가 필요한 발광 다이오드(LED) 생산에 사용됩니다.
- 레이저 다이오드: 레이저 다이오드 및 기타 광전자 장치의 제작에 사용됩니다.
5. 의료 및 과학 장비:
- 분석 기기: 질량 분석기 및 전자 현미경과 같은 분석 기기의 고온 부품에 사용됩니다.
텅스텐 AlN 히터 포장
저희 텅스텐 AlN 히터 는 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 저장 및 운송 과정에서 신중하게 취급됩니다.
텅스텐 AlN 히터 자주 묻는 질문
Q1: 텅스텐 AlN 히터는 어떻게 제조되나요?
증착: 텅스텐은 화학 기상 증착(CVD) 또는 물리적 기상 증착(PVD)과 같은 과정으로 AlN 기판에 증착됩니다.
접착: 텅스텐 층은 AlN 기판에 접착되어 내구성이 뛰어나고 효율적인 난방 요소를 만듭니다.
Q2: 텅스텐 AlN 히터는 반도체 제조에 왜 사용되나요?
이 히터는 웨이퍼 처리 및 박막 증착과 같은 공정에 필수적인 정밀하고 균일한 난방을 제공합니다. 높은 열 전도성과 전기 절연성이 반도체 제조에서 효율적이고 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.
Q3: 텅스텐 AlN 히터는 특정 응용에 맞게 맞춤 제작이 가능한가요?
예, 텅스텐 AlN 히터는 특정 응용 요구 사항을 충족하도록 다양한 형태, 크기 및 전력 등급으로 제조할 수 있어 최적의 성능을 보장합니다.