PBN/PG 복합 발열체 설명
열분해질화 붕 소는 PBN 발열체의 기판으로 사용됩니다. 열분해 흑연 (PG) 은 전도체 및 히터로서 CVD 방식으로 PBN 플레이트의 표면에 배치됩니다. 애플리케이션의 다양한 요구 사항에 따라 PG 발열체를 다시 PBN으로 덮거나 그냥 열어둘 수 있습니다.
PG와 PBN은 모두 매우 순도(99.99% 이상)가 높고 진공 또는 불활성 분위기에서 매우 안정적이기 때문에 PBN/PG 복합 발열체는 내구성이 뛰어나고 챔버를 깨끗하게 유지할 수 있습니다. 가스 성분을 방출하지 않고 매우 짧은 시간에 1600℃까지 가열할 수 있습니다. 또한 산과 알칼리에 대한 내성도 우수합니다. 이 발열체는 고온, 고진공, 고순도가 필요한 반도체 산업 및 응용 분야에 이상적인 제품입니다.
PBN/PG 복합 발열체 사양
지름:
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0.5"~4" 또는 맞춤형
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벌크 밀도
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2.0-2.19g/cm3
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최대 작동 온도 (진공)
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2400℃
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체적 저항(Ω-cm)
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3.11*1011
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굴곡 강도(Mpa)
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243.63
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열전도율(W/M-k)
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43-60
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맞춤형 서비스:
모양
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웨이퍼
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직사각형
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튜브
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크기(mm)
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φ380 MAX
1.0-2.5
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265*265 최대
1.0-2.5
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φ265 MAX
400 최대 길이
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샘플
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PBN/PG 복합 발열체 응용 분야
- 반도체 기판 히터(MBE, MOCVD, 스퍼터 코팅, CVC 등 분야)
- 초전도체 기판 가열.
- 전자 현미경 샘플 가열.
- 금속 증발 가열.
PBN/PG 복합 발열체 포장
당사의 PBN/PG 복합 발열체는 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 보관 및 운송 중에 세심하게 취급됩니다.
25Kg/봉지