오일로 배송된 증착 재료는 어떻게 청소하나요?

일부 침착된 물질이 공기 또는 수증기와 반응하지 않도록 보호하기 위해 일반적으로 보관 및 배송 중에 저점도(탄화수소) 광유에 담그는 경우가 많습니다. 오일과 함께 배송된 이러한 구성 물질을 진공 시스템에 설치하기 전에 용매를 사용하여 오일을 제거해야 합니다. 용매의 선택은 진공 시스템이나 후속 박막 공정에 추가적인 오염원으로 작용하지 않는다는 전제하에 이루어집니다.

용매의 선택

일부 반응성이 높은 증착 재료는 특정 용매와 반응할 수 있습니다. 따라서 항상 엄격하게 탄화수소 성분의 용매를 선택해야 합니다.

다음은 권장되지 않는 용매입니다. 기름을 제거하는 데 사용하지 않는 것이 좋습니다:

• * 질소가 포함된 피리딘 계열 용제를 사용하지 마세요.
• * 이황화탄소와 같은 황 함유 용제를 사용하지 마세요.
• * 트리클로로에틸렌과 같은 염소 함유 용제를 사용하지 마세요.
• * 알코올, 케톤, 에스테르, 에테르, 퓨란 또는 기타 산소가 포함된 용매를 사용하지 마세요.

다음은 몇 가지 권장 용매입니다. 고순도의 깨끗한(용질이 없는) 탄화수소 용매와 관련된 비용을 최소화하려면 초기 세척 단계에서 기술 등급 헥산, 헵탄, 이소옥탄과 같은 기술 등급 용매를 사용할 수 있습니다.

참고: 고순도 등급의 헥산, 헵탄 또는 이소옥탄은 유리 용기에 담아 배송, 보관 및 사용해야 합니다. 플라스틱 스쿼시 병은 용제에 적합한 용기가 아니라는 점에 유의하세요. 용제를 보관하고 취급하는 데는 매우 편리하지만 플라스틱의 저분자 폴리머는 용제에 의해 용출되어 용제가 증발할 때 잔류물로 남게 됩니다. 다시 한 번 강조하지만, 플라스틱 용기에 보관된 용제는 절대로 사용하지 마세요.

유기 용제 취급 시 주의사항

거의 모든 유기 용제는 건강에 유해하므로 다음 사항을 확인하세요:

1) 솔벤트 증기를 흡입하거나 솔벤트 액체를 삼키지 마세요.

2) 솔벤트에 피부가 닿거나 솔벤트가 눈에 튀지 않도록 주의하세요.

3) 증기 근처에 화염이나 히터가 노출되지 않도록 하십시오.

그리고 모든 솔벤트 취급 시 주의 사항

1) 배기식 흄 후드 또는 글러브 박스에서 작업해야 합니다.

2) 적절한 보호용 보안경, 앞치마, 흡수식 호흡기 마스크를 착용한 상태에서만 작업해야 합니다.

3) 사용 중인 용제가 장갑을 녹이거나 장갑을 통해 침투하지 않는다는 것을 입증하는 테스트를 거친 장갑을 착용한 상태에서만 수행해야 합니다.

필요한 환경

공기와 재료 사이의 상호작용을 지연시키려면 약간의 아르곤 양압을 가한 상태에서 누출이 없는 글러브 박스에서 재료를 세척하는 것이 좋습니다. 이것이 불가능하다면 흄 후드 또는 통풍이 잘 되는 곳에서 모든 청소 단계를 최대한 빨리 완료하세요. 이렇게 하면 재료가 공기에 노출되는 시간을 최소화하고 작업자가 솔벤트 연기에 노출되는 시간도 줄일 수 있습니다.

필요한 장비 및 재료

필요한 청소 재료는 다음과 같습니다:

• * 적절한 크기의 화학적, 물리적으로 깨끗한 유리 용기(비커 또는 페트리 접시)
• * 기술적 순도 d(초기 세척 단계에 사용)
• * 초고순도 탄화수소 용제(다음 세척 단계에서 사용)
• * 보푸라기가 없는 티슈
• * 재료를 취급하기 위한 화학적 및 물리적으로 깨끗한 집게 또는 핀셋

자세한 청소 절차

먼저 비커/페트리 접시를 3개 이상 준비하고 증착 재료를 완전히 담글 수 있을 만큼 충분한 기술 용매를 채울 수 있는지 확인해야 합니다. 마찬가지로, 재료를 완전히 담글 수 있을 만큼 충분한 고순도 용매가 담긴 비커/페트리 접시를 3개 이상 준비합니다.

둘째, 포장에서 재료를 꺼내 보푸라기가 없는 티슈로 여분의 기름을 빠르게 닦아냅니다. 그 후, 즉시 비커나 페트리 접시에 기술용 용 제(DTS01)를 넣고 재료나 용제를 저어 용해를 촉진합니다. (참고: 재료를 꺼낸 후 용매에 넣는 시간은 가능한 한 짧게 하여 재료가 공기에 노출되는 시간을 줄여야 합니다. 그리고 완전히 말리려고 하면 공기 노출이 증가하여 오염을 줄이는 데 거의 도움이 되지 않으므로 시도하지 마세요.)

셋째, TSD01에서 재료를 제거하고 여분의 솔벤트를 새 티슈로 빠르게 닦아냅니다. 그런 다음 2번째 단계를 반복하고 즉시 재료를 TSD02에 담그고 용매를 저어줍니다.

재료가 6개의 비커 또는 페트리 접시(3개는 기술 용매, 3개는 고순도 용매)를 모두 통과할 때까지 위의 과정을 반복합니다.

마지막 비커 또는 페트리 접시에서 고순도 용매(DHS03 )로 물질이 제거되면 즉시 아르곤으로 사전 세척(그리고 계속 세척)해야 하는 진공 챔버로 물질을 옮깁니다. 챔버는 항상 아르곤으로 환기해야 합니다.

재료가 소스에 장착되면 아르곤 흐름을 중단하고 챔버 플랜지를 닫은 다음 펌핑합니다. 증착 재료가 Ca, Ba, Sr과 같이 빠르게 산화되는 반응성 스퍼터 타겟인 경우, 짧은 시간 동안 프리퍼터링하십시오.

재료가 챔버에 있는 모든 시간 동안 챔버가 열려 있을 때는 아르곤이 높은 체적 속도로 계속 흐르도록 하고, 챔버가 닫혀 있을 때는 고진공 상태를 유지합니다.