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| 카탈로그 번호. | AL3258 |
| 재료 | Al2O3, AlN, 사파이어 |
| 치수 | φ200/300mm 장비용 설계 |
| 순도 | ≥99.9% |
전기 정전기 챙크는 높은 순도, 고온 및 저온 적용에 대한 높은 내구성을 특징으로 하며, 좋은 점착/탈착 응답을 제공합니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 알루미나 제품의 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.
관련 제품: 산화알루미늄 사파이어 크리스탈 기판, 사파이어 창, 사파이어 웨이퍼, 알루미늄 질화물 맞춤 기계 가공 부품
내장된 전극이 구조와 ESC 표면에 놓인 실리콘 웨이퍼 간에 발생하는 정전기력을 사용하여 삽입됩니다. 반도체 제조 과정에서는 이러한 제품을 실리콘 웨이퍼 설치, 평탄도 교정 및 실리콘 웨이퍼 냉각에 사용할 수 있습니다.

- φ200/300mm 장비용 설계
- 고순도 Al2O3/AlN/사파이어 재료
- 높은 플라즈마 내구성
- 적절한 척착/탈착 반응
- 고온 및 저온의 극한 자연 조건에서도 견딜 수 있습니다.
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재료 |
사파이어 |
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색상 |
투명 |
|
함량 (%) |
99.99 |
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밀도 (g/cm3) |
3.97 |
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비커스 경도 HV9.807N (Gpa) |
22.5 |
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영향계수 (Gpa) |
470 |
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압축 강도 (Mpa) |
2,940 |
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열전도율 (20℃) (W/(m·K) |
41 |
정전기 척은 실리콘 웨이퍼 설치, 평탄도 교정 및 실리콘 웨이퍼 냉각에 사용됩니다.
우리의 정전기 척은 보관 및 운송 중 품질을 유지하기 위해 신중하게 처리됩니다.
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소재 |
사파이어 |
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색상 |
투명 |
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함량 (%) |
99.99 |
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밀도 (g/cm3) |
3.97 |
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비커스 경도 HV9.807N (Gpa) |
22.5 |
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영률 (Gpa) |
470 |
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압축 강도 (Mpa) |
2,940 |
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열전도율 (20℃) (W/(m·K) |
41 |
*위 제품 정보는 이론적인 데이터를 기반으로 하며 참고용입니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
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