단종 (단종) GR5613 PECVD 그래파이트 보트

카탈로그 번호.	GR5613
재료	PECVD 흑연
모양	보트
밀도	1.87g/cm3
전기 저항	13 μΩm

PECVD 그래파이트 보트는 다양한 기판에 박막을 증착하기 위해 PECVD 과정에서 사용되는 그래파이트로 만들어진 전문 용기입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 높은 순도와 경쟁력 있는 가격으로 PECVD 그래파이트 보트를 제공하는 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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재질	-	PECVD 그래파이트
밀도	g/cm³	1.87
비저항	μΩm	13
굽힘 강도	MPa	72
재	PPM	4.7
CTE	1E-6/℃	4.7
치수 공차	mm	±0.01
열 팽창	mm	≤0.2
입자 크기	μm	7
쇼어 경도	HSD	70

재료	-	PECVD 흑연
밀도	g/cm³	1.87
비저항	μΩm	13
굽힘 강도	MPa	72
재 Ash 함량	PPM	4.7
CTE	1E-6/℃	4.7
치수 허용 오차	mm	±0.01
열 팽창	mm	≤0.2
립 사이즈	μm	7
쇼어 경도	HSD	70

단종 (단종) GR5613 PECVD 그래파이트 보트

PECVD 그래파이트 보트 설명

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