단종 IF5320 (단종) 650C 두 구역 CSS 난로, 신속 열 처리 OTF-1200X-RTP-II

카탈로그 번호.	IF5320
항목 번호	OTF-1200X-RTP-II
작동 온도	1000℃ 연속
작동 온도	≤ 1100℃, ≤30분 ℃
치수	130100100mm

중단됨

650C 두 개의 열 구역을 갖춘 신속 열 처리 용광로 OTF-1200X-RTP-II는 11인치 OD 쿼츠 튜브가 장착된 두 개의 가열 구역을 갖춘 신속 열 처리 용광로입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질의 머플 용광로 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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노 구조 및 진공 챔버	이동형 알루미늄 합금 프레임에 통합된 이중 히터, 두 개의 온도 조절기 및 두 채널 가스 유량계 챔버는 고순도 융합 석영관으로 제작됨 석영관 크기: 11" OD/10.8" ID x 9" H 탄소 섬유 펠트를 열 절연체로 사용 진공 플랜지는 스테인리스 스틸 316으로 제작됨 전체 치수: 850(L)×745(W)×1615(H) mm
진공 플랜지	하단 플랜지는 두 개의 가스 입구(1/4" 파이프 필요)와 함께 하나의 KFD-25 진공 포트를 가지고 있으며, 기판 및 증발된 물질을 쉽게 적재 및 하역할 수 있도록 수동으로 위아래로 슬라이드할 수 있습니다. 상단 플랜지는 하나의 KFD-25 진공 포트와 두 개의 가스 입구(1/4" 파이프 필요) 및 니들 밸브가 있음 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되어 있으며, 품질이 우수한 기계식 펌프를 통해 최대 진공 압력 10E-2 Torr 및 분자 펌프를 통해 10E-5 Torr를 달성할 수 있음 정밀 내식성 디지털 진공 게이지가 표준 패키지에 포함됨
히터 및 샘플 홀더	빠른 가열을 위한 두 개의 단파 IR 램프가 가열 요소로 사용됨. 두 히터 사이의 거리는 10 - 50 mm로 조정 가능 히터는 스테인리스 스틸로 제작되며, 열 복사를 줄이고 빠른 냉각을 가능하게 하는 워터 쿨드 재킷이 있음 3인치 원형 웨이퍼 홀더가 상단 히터에 내장되어 기판을 적재할 수 있도록 설계됨 기판의 뒷면에 놓여져 균일하게 가열될 수 있도록 하는 고열 전도 알루미늄 질화물(AIN) 판(3"지름 x 0.5mm 두께) 포함 AIN 판의 대체로 사용할 수 있는 3인치 흑연 판이 있음 할로겐 조명 히터 교체는 추가 비용 발생
온도 조절기	상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어하기 위해 30개 세그먼트를 프로그래밍할 수 있는 두 개의 정밀 디지털 온도 조절기 각 조절기는 과열 및 열전대 파손을 방지하기 위해 PID 자동 조정 기능과 경고 기능을 갖춤 PC 통신 인터페이스 및 소프트웨어가 설치됨
작동 온도	각 히터의 최대 온도: ≤ 650℃ 두 히터 간의 최대 온도 차이: ≤ 300℃, 두 히터 사이의 간격에 따라 다름:
가열 및 냉각 속도	가열: < 8℃/s (단일 히터만 가열 시) 냉각: < 10℃/s (600 - 100℃) 최대.
열전대	두 개의 K형 열전대(노출)가 상단 및 하단 히터에 각각 설치됨
작동 전압	208 - 240VAC, 단상, 20A 공기 차단기
전력 요구사항	총 2200W (각 히터 1100W)
보증	소모품(석영관 및 가열램프 등)은 보증 기간에 포함되지 않으며, 1년 제한 보증 및 평생 지원 제공
준수	CE 인증

가열로 구조 및 진공 챔버	이동식 알루미늄 합금 프레임에 두 개의 열 가열기, 두 개의 온도 조절기 및 두 채널 가스 유량계가 통합되어 있음 챔버는 고순도의 융합 석영 튜브로 제작됨 석영 튜브 크기: 11" OD/10.8" ID x 9" H 탄소 섬유 펠트가 열 절연재로 사용됨 진공 플랜지는 스테인리스 스틸 316으로 제작됨 전체 치수: 850(L)×745(W)×1615(H) mm
진공 플랜지	하부 플랜지에는 하나의 KFD-25 진공 포트와 두 개의 가스 입구(1/4" 파이프 필요) 및 바늘 밸브가 있음 상부 플랜지에는 하나의 KFD-25 진공 포트와 두 개의 가스 출구(1/4" 파이프 필요)가 있어 하거나 들어 올리는 것이 수동으로 가능함 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되어 있으며, 품질 좋은 기계식 펌프를 사용해 최대 10E-2 Torr의 진공 압력을 달성하고, 분자 펌프를 사용할 경우 최대 10E-5 Torr의 진공 압력을 달성할 수 있음 정밀 내식성 디지털 진공 게이지가 기본 패키지에 포함됨
히터 및 샘플 홀더	빠른 가열을 위한 두 개의 단파 IR 램프가 가열 요소로 사용됨 두 개의 히터 사이의 거리는 10 - 50 mm로 조정 가능함 히터는 스테인리스 스틸로 제작되어 열 방사를 줄이고 빠른 냉각이 가능하도록 수냉 자켓을 장착함 3" 원형 웨이퍼 홀더가 상부 히터와 함께 내장되어 기판을 장착함 균일한 가열을 위해 기판 뒤에 장착할 수 있는 고열전도성 AlN 판(3"지름 x 0.5mm 두께)이 포함됨 AIN 판을 대신하여 사용할 수 있는 3" 흑연 판이 제공됨 할로겐 라이트 히터 교체가 추가 비용으로 가능함
온도 조절기	상부 및 하부 히터를 독립적으로 제어하기 위해 30개 세그먼트 프로그래밍이 가능한 두 개의 정밀 디지털 온도 조절기가 장착됨 각 조절기에는 히터의 과열을 방지하고 열전대 파손을 방지하는 PID 자동 조정 기능과 알람 기능이 있음 PC 통신 인터페이스 및 소프트웨어가 설치되어 있음
작동 온도	각 히터의 최대 온도: ≤ 650℃ 두 히터 사이의 최대 온도 차이: ≤ 300℃로 두 히터 사이의 간격에 따라 달라짐
가열 및 냉각 속도	가열: < 8℃/s (단일 히터만 가열 시) 냉각: < 10℃/s (600 - 100℃) 최대
열전대	두 개의 K형 열전대(노출형)가 상부 및 하부 히터에 각각 설치됨
작동 전압	208 - 240VAC, 단상, 20A 공기 차단기
전력 요구 사항	총 2200W (각 히터당 1100W)
보증	1년 제한 보증 및 평생 지원 제공 (쿼츠 튜브 및 난방 램프와 같은 소모품은 보증에 포함되지 않음)
규정 준수	CE 인증

단종 IF5320 (단종) 650C 두 구역 CSS 난로, 신속 열 처리 OTF-1200X-RTP-II

중단됨

650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 설명

650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 사양

650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 응용 프로그램

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