650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 설명
650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II는 11인치 OD 석영관으로 장착된 두 개의 가열 구역을 가진 신속 열처리 노입니다. 3인치 지름 또는 2x2인치 정사각형으로 설계된 층의 PVD 또는 CSS(밀폐 승화) 필름 코팅을 위해 설계되었습니다. 이 노는 최대 가열 온도 100rpm의 두 세트의 할로겐 히터(상단 및 하단)로 가열됩니다. CdTe, 황화물 및 페로브스카이트 태양 전지와 같은 새로운 세대의 태양전지 박막을 연구하는 데 적합한 도구입니다. 또한 박막 어닐링을 위한 RTP로도 사용할 수 있습니다.
650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 사양
노 구조 및 진공 챔버
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- 이동형 알루미늄 합금 프레임에 통합된 이중 히터, 두 개의 온도 조절기 및 두 채널 가스 유량계
- 챔버는 고순도 융합 석영관으로 제작됨
- 석영관 크기: 11" OD/10.8" ID x 9" H
- 탄소 섬유 펠트를 열 절연체로 사용
- 진공 플랜지는 스테인리스 스틸 316으로 제작됨
- 전체 치수: 850(L)×745(W)×1615(H) mm
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진공 플랜지
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- 하단 플랜지는 두 개의 가스 입구(1/4" 파이프 필요)와 함께 하나의 KFD-25 진공 포트를 가지고 있으며, 기판 및 증발된 물질을 쉽게 적재 및 하역할 수 있도록 수동으로 위아래로 슬라이드할 수 있습니다.
- 상단 플랜지는 하나의 KFD-25 진공 포트와 두 개의 가스 입구(1/4" 파이프 필요) 및 니들 밸브가 있음
- 플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되어 있으며, 품질이 우수한 기계식 펌프를 통해 최대 진공 압력 10E-2 Torr 및 분자 펌프를 통해 10E-5 Torr를 달성할 수 있음
- 정밀 내식성 디지털 진공 게이지가 표준 패키지에 포함됨
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히터 및 샘플 홀더
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- 빠른 가열을 위한 두 개의 단파 IR 램프가 가열 요소로 사용됨.
- 두 히터 사이의 거리는 10 - 50 mm로 조정 가능
- 히터는 스테인리스 스틸로 제작되며, 열 복사를 줄이고 빠른 냉각을 가능하게 하는 워터 쿨드 재킷이 있음
- 3인치 원형 웨이퍼 홀더가 상단 히터에 내장되어 기판을 적재할 수 있도록 설계됨
- 기판의 뒷면에 놓여져 균일하게 가열될 수 있도록 하는 고열 전도 알루미늄 질화물(AIN) 판(3"지름 x 0.5mm 두께) 포함
- AIN 판의 대체로 사용할 수 있는 3인치 흑연 판이 있음
- 할로겐 조명 히터 교체는 추가 비용 발생
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온도 조절기
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- 상단 및 하단 히터를 독립적으로 제어하기 위해 30개 세그먼트를 프로그래밍할 수 있는 두 개의 정밀 디지털 온도 조절기
- 각 조절기는 과열 및 열전대 파손을 방지하기 위해 PID 자동 조정 기능과 경고 기능을 갖춤
- PC 통신 인터페이스 및 소프트웨어가 설치됨
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작동 온도
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- 각 히터의 최대 온도: ≤ 650℃
- 두 히터 간의 최대 온도 차이: ≤ 300℃, 두 히터 사이의 간격에 따라 다름:
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가열 및 냉각 속도
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- 가열: < 8℃/s (단일 히터만 가열 시)
- 냉각: < 10℃/s (600 - 100℃) 최대.
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열전대
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- 두 개의 K형 열전대(노출)가 상단 및 하단 히터에 각각 설치됨
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작동 전압
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- 208 - 240VAC, 단상, 20A 공기 차단기
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전력 요구사항
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보증
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- 소모품(석영관 및 가열램프 등)은 보증 기간에 포함되지 않으며, 1년 제한 보증 및 평생 지원 제공
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준수
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650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 응용 프로그램
650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II는 CdTe, 황화물 및 페로브스카이트 태양 전지와 같은 새로운 세대의 태양전지 박막을 연구하는 데 적합한 도구입니다. 또한 박막 어닐링을 위한 RTP로 사용할 수 있습니다.
650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II 포장
저희 650C 두 구역 CSS 노를 사용한 신속 열처리 OTF-1200X-RTP-II는 보관 및 운송 중 제품의 품질을 원래 상태에서 유지하기 위해 신중하게 취급됩니다.