1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로 OTF-1200X-4-RTP 설명
1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로는 4인치 I.D. 석영 처리 튜브와 진공 플랜지가 장착된 컴팩트한 Rapid Thermal Processing 튜브 용광로입니다. 3인치까지의 반도체 웨이퍼 또는 태양광 셀의 어닐링을 위해 특별히 설계되었으며, 정밀한 열처리 기능을 제공합니다.
8개의 1 kW 할로겐 조명으로 가열되며, OTF-1200X-RTP-4는 최대 가열 속도가 50°C/초입니다. +/-1°C의 정확성을 가진 50구간 정밀 온도 조절기가 용광로에 통합되어 있어 다양한 과정 단계에서 가열, 대기 및 냉각을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로 OTF-1200X-4-RTP 사양
특징
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- 이중 레이어 강철 외장과 공기 냉각 기능이 있어 용광로 표면 온도가 60°C 이하로 유지됩니다.
- 최대 에너지 절약을 위한 고순도 알루미나 섬유 단열재.
- 분리형 덮개와 인터록 보호 장치가 있어, 용광로 가열 중 뚜껑이 열릴 경우 전원 차단.
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작동 온도
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1100℃ (< 10 분)
1000℃, (<20 분)
800℃, (<120 분)
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기본 매개변수
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- 가열 요소: K형 열전대
- 순환수 유량: 0.5 m3/h
- 표준 유량 측정 범위: 16-160 ml/min
- 디지털 진공 게이지: 10-4 ~ 1000 torr
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전력
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208-240V AC, 12 KW, 50/60 Hz
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온도 제어
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- FA-YD808P-AG 온도 조절기가 포함되어 있습니다.
- 비례-적분-미분 제어(PID 제어) 및 자동 조정 기능
- 구간 50개, 상승, 냉각 및 대기 단계 프로그래밍 가능
- 내부 과온도 경고 및 열전대 고장 경고 기능
- +/- 1 ºC 온도 제어 정확도
- 기본 DB9 PC 통신 포트
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석영 튜브 및 샘플 홀더
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- 석영 튜브 크기: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 16.2" 길이.
- 어닐링 샘플을 위해 최대 3" 직경의 AlN 샘플 홀더가 포함되어 있습니다.
(AlN은 매우 높은 열전도성을 가지며, 샘플 영역에서 최상의 온도 균일성을 제공합니다. 샘플 홀더는 플랜지에서 분리 가능하여 다른 용도로 RTP 용광로를 사용할 수 있습니다.)
- 선택 사항: 3'' O.D 두꺼운 흑연 기판 (AIN 플레이트 대안)
- 선택 사항: 흑연 크루시블 (87 mm O.D x 71 mm I.D x 12 mm 높이와 뚜껑), 3" 샘플 홀더용으로 설계됨
(크루시블은 SiC로 코팅된 흑연 크루시블과 함께 RTE, CSS 또는 HPCVD 용광로로 수정될 수 있습니다.)
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전체 치수
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- 플랜지 (닫혔을 때): 1350 L * 330 W * 590 H mm
- 플랜지 (열렸을 때): 1350 L * 520 W * 740 H mm
- 용광로 크기: φ180*190mm
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순중량
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70 kg
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보증
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- 1년 제한 보증, 평생 지원 포함.
- 주의: 부식성 및 산성 가스를 사용하여 발생한 손상에 대해서는 SAM 1년 제한 보증의 적용을 받지 않습니다.
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인증
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- CE 인증
- NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 가능합니다.
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1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로 OTF-1200X-4-RTP 응용 분야
- 반도체 제조: 실리콘 웨이퍼, MEMS(마이크로 전자 기계 시스템), 및 태양광 셀과 같은 반도체 장비의 제작에 사용됩니다. 수직 용광로는 산화, 확산, LPCVD(저압 화학 기상 증착), 및 어닐링과 같은 공정을 위해 사용됩니다.
- 박막 증착: CVD(화학 기상 증착), PVD(물리 기상 증착), 및 ALD(원자층 증착)와 같은 기술을 이용해 기판에 박막을 증착하는 데 사용됩니다. 수직 용광로는 정밀한 필름 두께 및 구성 제어를 위한 제어된 환경을 제공합니다.
- 태양광 셀 생산: 태양광 셀 및 태양광 모듈 제작에 적용됩니다. 수직 용광로는 확산, 반사 방지 코팅 증착 및 메탈화와 같은 공정에 사용되어 태양광 셀의 효율성과 성능을 향상시킵니다.
1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로 OTF-1200X-4-RTP 포장
우리의 1100C 컴팩트 대기 제어 RTP 용광로 OTF-1200X-4-RTP 는 보관 및 운송 동안 제품의 품질이 원래 상태를 유지하도록 신중하게 처리됩니다.