사파이어 웨이퍼 Al2O3 (0001) 100mm Dia. x 0.65mm 설명
사파이어 웨이퍼 Al2O3 (0001) 100mm Dia. x 0.65mm는 알루미늄 산화물로 구성된 정밀하게 제조된 결정성 기판입니다. 정의된(0001) 방향과 엄격한 치수 공차로 표준 반도체 공정 장비와 호환됩니다. 균일한 두께와 낮은 결함 밀도는 고정밀 에피택셜 증착과 마이크로 전자 소자 제작을 용이하게 하여 첨단 소재 연구 및 개발 공정을 지원합니다.
사파이어 웨이퍼 Al2O3(0001) 100mm Dia. x 0.65mm 애플리케이션
전자 제품
- 반도체 소자의 기판으로 사용하여 제어된(0001) 결정학적 방향을 활용하여 균일한 에피택셜 증착을 달성합니다.
광전자
- 높은 광학 투과율과 정밀한 표면 평탄도를 활용하여 광학적 선명도를 향상시키기 위해 LED 및 레이저 다이오드 제조의 기본 재료로 적용됩니다.
과학 연구
- 일관된 결정 구조와 균일한 두께를 활용하여 낮은 전위 밀도를 달성하기 위한 첨단 소재 연구를 위한 테스트 플랫폼으로 사용됩니다.
사파이어 웨이퍼 Al2O3(0001) 100mm Dia. x 0.65mm 포장
웨이퍼는 정전기 방지 쿠션이 있는 캐리어에 개별적으로 고정되어 클린룸과 호환되는 견고한 트레이 안에 배치됩니다. 오염을 방지하기 위해 내습성 재료로 포장됩니다. 보관 권장 환경으로는 건조한 온도 조절 환경이 있습니다. 특정 보관 및 취급 프로토콜을 충족하기 위해 맞춤형 라벨링 및 구획화된 포장 옵션을 사용할 수 있습니다.
자주 묻는 질문
Q1: SAM은 웨이퍼 표면 평탄도와 결함 제어를 어떻게 보장하나요?
A1: SAM은 공정 중에 광학 간섭계와 SEM 검사를 사용하여 표면 평탄도를 측정하고 결함 밀도를 모니터링하여 각 웨이퍼가 후속 제조 공정의 엄격한 성능 기준을 충족하도록 보장합니다.
Q2: 웨이퍼 취급 중 오염을 방지하기 위해 어떤 조치가 취해지나요?
A2: 웨이퍼는 클린룸 조건에서 처리되고 정전기 방지 및 습기 방지 용기에 포장됩니다. 이러한 조치는 미립자 낙진과 표면 오염을 최소화하여 웨이퍼의 구조적 무결성을 보존합니다.
Q3: 치수 공차는 다운스트림 공정에 어떤 영향을 미칩니까?
A3: 일관된 직경과 두께는 에피택셜 증착에서 공정 균일성에 직접적인 영향을 미칩니다. 엄격한 공차는 표준 공정 툴과의 호환성을 보장하여 소자 제작의 변동성을 줄여줍니다.
추가 정보
알루미늄 산화물(Al2O3)은 화학적 불활성 및 우수한 열적 특성으로 인해 다양한 고성능 애플리케이션에서 중요한 역할을 합니다. 사파이어 기판은 정밀한 미세 구조 균일성과 낮은 결함 밀도가 필수적인 반도체 및 광학 장치에 광범위하게 사용됩니다.
화학 기상 증착 및 표면 프로파일 측정을 포함한 고급 제조 방법을 통해 결정 방향과 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 정밀도는 미세한 차이도 전체 장치 성능에 영향을 미칠 수 있는 마이크로 일렉트로닉스 및 재료 연구 분야의 응용 분야에 필수적입니다.