사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm

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AL10287 사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm

카탈로그 번호.	AL10287
재료	Al2O3
크기	100mm Dia x 0.525mm

사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm는 제어된 R 평면 방향과 정의된 치수가 특징인 정밀 절단된 결정 기판입니다. 고순도 Al2O3로 제조된 이 웨이퍼는 전자 현미경 표면 평가를 포함한 첨단 기술을 사용하여 결함 밀도와 평탄도를 모니터링하는 방식으로 가공됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 생산 과정에서 체계적인 인라인 검사를 적용하여 까다로운 반도체 및 결정 성장 애플리케이션에 일관성을 보장합니다.

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리뷰

사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm 설명

사파이어(Al2O3)로 구성된 이 웨이퍼는 에피택셜 공정 중 층 정렬을 향상시키는 R 평면 결정학적 배향이 특징입니다. 100mm 직경과 0.525mm 두께로 표준 반도체 툴 요건을 준수합니다. 화학적 불활성 및 열 안정성은 결정 성장 및 소자 제조 응용 분야에 유리합니다. 엄격한 공정 모니터링을 통해 표면 평탄도를 제어하고 결함 밀도를 최소화하여 첨단 제조 워크플로에 안정적으로 통합할 수 있도록 지원합니다.

사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm 애플리케이션

전자 및 반도체
- 반도체 소자의 에피택셜 층 증착을 위한 기판으로 사용되어 균일한 표면 특성을 활용하여 제어된 결정학적 정렬을 달성합니다.
- 소재의 높은 열 전도성을 활용하여 열 관리를 강화하기 위해 LED 제조의 베이스 레이어로 적용됩니다.

산업 공정 장비
- 화학적 불활성 및 열 안정성을 활용하여 정확한 측정 성능을 달성하기 위해 센서 어셈블리의 구조적 구성 요소로 사용됩니다.
- 재료 특성을 제어하여 일관된 성능을 유지하기 위한 고온 처리 시스템의 플랫폼으로 사용됩니다.

사파이어 웨이퍼 Al2O3 R 평면 100mm Dia x 0.525mm 포장

웨이퍼는 정전기 방지 클린룸 등급의 파우치에 개별적으로 밀봉되어 있으며 기계적 충격과 오염을 방지하기 위해 견고한 폼 라이닝 용기 안에 배치됩니다. 포장은 먼지와 습기를 배제하도록 설계되어 통제된 불활성 환경을 유지합니다. 보관 및 운송 시에는 온도 조절이 가능한 환경을 권장합니다. 고객의 요청에 따라 진공 밀봉 구성 및 특수 라벨링을 포함한 맞춤형 포장 옵션이 제공됩니다.

자주 묻는 질문

Q1: 제작 과정에서 R면 방향은 어떻게 유지되나요?
A1: R 평면은 정밀한 절단 및 정렬 프로토콜을 통해 달성됩니다. 공정 중 광학 검사를 통해 결정학적 방향을 확인하여 후속 층 증착 단계에 중요한 지정된 허용 오차를 준수하는지 확인합니다.

Q2: 품질 평가에는 어떤 측정 기법이 사용되나요?
A2: 표면 평탄도, 두께 및 결함 밀도는 간섭계, 주사 전자 현미경 및 프로파일 측정을 사용하여 평가합니다. 이러한 기술은 공정 일관성을 유지하는 데 필요한 정량적 피드백을 제공합니다.

Q3: 두께 허용 오차는 엄격하게 정의되어 있으며, 이는 무엇을 의미하나요?
A3: 예, 0.525mm 두께는 반도체 공정 도구와의 치수 호환성을 보장하기 위해 엄격한 허용 오차 범위 내에서 유지됩니다. 이러한 엄격한 관리를 통해 고정밀 제작 시 디바이스 성능에 영향을 미칠 수 있는 변수를 최소화할 수 있습니다.

추가 정보

결정질 Al2O3로 구성된 사파이어 기판은 우수한 열, 전기 및 화학적 특성으로 인해 다양한 산업 및 연구 분야에서 광범위하게 사용됩니다. 고유한 기계적 강도와 높은 융점으로 인해 고온 공정에 적합합니다. 특히 R-면 배향은 에피택셜 성장 및 첨단 반도체 소자 제조와 같은 공정에서 필수적인 표면 특성 개선에 기여합니다.

재료 과학의 넓은 맥락에서 사파이어 웨이퍼의 가공에는 엄격한 품질 관리 조치가 수반됩니다. 첨단 현미경과 간섭계를 이용한 상세한 특성 분석은 복잡한 어셈블리의 성능에 대한 기준을 설정합니다. 연구자와 엔지니어는 이러한 매개변수를 이해함으로써 실험 환경과 생산 환경 모두에 대한 통합을 최적화할 수 있습니다.

사양

사양	세부 정보
재료	Al2O3
크기	100 mm Dia x 0.525 mm
결정 구조	육각형. a=4.758 옹스트롬 c=12.99 옹스트롬
녹는점	2040도 C
밀도	3.97 그램/cm2
결정 순도	>99.99%
경도	9(모스)
열 팽창	7.5x10-6(/도씨)
열 전도성	46.06 @ 0°C, 25.12 @ 100°C, 12.56 @ 400°C ( W/(m.K) )
유전 상수	A축에서 ~ 9.4 @300K ~ C축에서 11.58 @ 300K
10GHz에서 탄젠트 손실	A축에서 <2x10-5, C축에서 <5 x10-5