AL10296 2인치 실리콘(Si <111> N 유형) 2인치 x 500nm의 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

Name: AL10296 Undoped Aluminum Nitride AlN Template on 2 inch Silicon (Si N type) 2 inch x 500 nm
SKU: AL10296
Availability: InStock
Rating: 4.9 (166 reviews)

카탈로그 번호.	AL10296
재료	AlN, Si
크기	2인치 x 500nm

2인치 실리콘(Si <111> N 타입) 2인치 x 500nm의 언도핑된 질화 알루미늄 AlN 템플릿은 2인치 실리콘 웨이퍼에 (111) 방향의 500nm AlN 필름을 특징으로 하는 세라믹 기판입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 필름의 균일성과 두께를 모니터링하기 위해 SEM 검사와 결합된 첨단 CVD 공정을 사용합니다. 이 접근 방식은 필름 결함을 최소화하여 반도체 및 전자 장치 제조에 필수적인 일관성을 보장합니다.

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사양	세부 정보
사용 가능한 면적	90%
공칭 AlN 두께	500nm ±10%, 한 면 코팅, 도핑되지 않은 AlN 필름
전면 표면	<1nm RMS, 성장한 상태
후면 표면	실리콘 N형
AlN 방향	C-플레인(00.1)
매크로 결함 밀도	<1/cm^2
웨이퍼 베이스	실리콘 [111] N형, 2" 직경 x0.5mm, , 한 면 광택 처리됨

AL10296 2인치 실리콘(Si <111> N 유형) 2인치 x 500nm의 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

2인치 실리콘(Si <111> N형) 2인치 x 500nm의 언도핑된 질화알루미늄 AlN 템플릿 설명

2인치 실리콘(Si <111> N 유형) 2인치 x 500nm 애플리케이션에 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

2인치 실리콘(Si <111> N 타입) 2인치 x 500nm 패키징에 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

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