AL10299 2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm의 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

카탈로그 번호.	AL10299
재료	AlN, Si
크기	5mmx5mm x 200nm

2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm의 언도핑된 질화 알루미늄 AlN 템플릿은 p형(111) 실리콘 웨이퍼에 에피택셜 증착된 AlN 층을 특징으로 하는 세라믹 기판입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 정밀한 CVD 및 물리적 기상 증착 기술을 적용하여 박막 두께와 표면 형태를 제어합니다. 이 제품은 체계적인 SEM 및 프로파일 측정 분석을 통해 균일성을 모니터링하여 증착 파라미터가 엄격한 산업 허용 오차 범위 내에서 유지되도록 합니다.

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사양	세부 정보
사용 가능한 면적	90%
공칭 AlN 두께	200nm ±10%, 한 면 코팅, 도핑되지 않은 AlN 필름
전면 표면	<1nm RMS, 성장한 상태
후면 표면	받은 대로 실리콘
AlN 방향	C-플레인(00.1)
매크로 결함 밀도	<1/cm^2
웨이퍼 베이스	실리콘 [111] P형, 5x5 x0.5mm, 한 면 광택 처리됨

AL10299 2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm의 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm에 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿 설명

2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm 애플리케이션의 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

2인치 실리콘 5mm x 5mm x 200nm 포장에 도핑되지 않은 질화 알루미늄 AlN 템플릿

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