마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm

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CY10333 마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm

카탈로그 번호.	CY10333
재료	C
크기	10x10x0.4 mm

마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm는 제어된 플라즈마 공정을 통해 원소 탄소로부터 생산되어 (100) 방향의 단결정을 형성합니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 고해상 간섭계를 포함한 고급 CVD 공정 모니터링을 적용하여 필름 성장을 제어하고 결함 밀도를 평가합니다. 이러한 조치는 정밀 전자 및 광자 연구에 사용되는 기판의 일관된 미세 구조 특성을 유지하는 데 도움이 됩니다.

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마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm 설명

마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm는 플라즈마 보조 증착 공정을 통해 원소 탄소로 제조됩니다. 10x10mm 치수는 표준 가공 장비 요건을 충족하며, 0.4mm 두께는 열 순환 시 구조적 강성을 제공합니다. (100) 결정학적 배향은 에피택셜 층과의 격자 호환성을 지원하여 디바이스 통합 시 계면 응력을 줄여줍니다. 화학적 불활성은 후속 처리 단계에서 오염 위험을 최소화합니다.

마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm 응용 분야

1.
전자 제품
- 다이아몬드의 효율적인 열 전도성을 활용하여 작동 중 열 구배를 줄임으로써 열 방출 문제를 해결하기 위해 반도체 장치의 기판으로 사용됩니다.

2.
포토닉스
- 레이저 시스템에서 광학 부품의 기반으로 적용되어 기판의 균일한 결정 구조를 활용하여 산란 효과를 최소화함으로써 제어된 빛 전파를 달성합니다.

3.
연구 및 개발
- 재료 과학 실험에서 제어된(100) 방향을 활용하여 실험의 변동성을 줄이고 계층화된 장치 구조와 일관된 통합을 보장하는 플랫폼 역할을 합니다.

마이크로웨이브 플라즈마 화학 기상 증착 다이아몬드 단결정 기판(100) 10x10x0.4 mm 포장

기판은 기계적 손상을 방지하기 위해 쿠션 폼 인서트가 있는 클린룸 등급의 정전기 방지 용기에 포장되어 있습니다. 습도가 조절된 환경에서 방진 백에 밀봉되어 있습니다. 크리스탈 무결성을 유지하려면 온도가 조절되는 환경에 보관하는 것이 좋습니다. 특정 취급 및 운송 요건을 지원하기 위해 맞춤형 라벨링 및 포장 옵션을 사용할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

Q1: 마이크로웨이브 플라즈마 공정의 어떤 측면이 결정 균일성에 영향을 미칩니까?
A1: 플라즈마 밀도, 가스 유량 및 기판 온도와 같은 주요 증착 파라미터가 지속적으로 모니터링됩니다. SAM은 간섭 측정 기술을 사용하여 필름 균일성과 결함 밀도를 평가하여 성장 공정 전반에 걸쳐 일관된 미세 구조를 유지하는 데 도움을 줍니다.

Q2: (100) 결정학적 배향이 후속 레이어의 통합에 어떤 영향을 미칩니까?
A2: (100) 배향은 많은 반도체 필름에서 격자 정렬을 촉진합니다. 이러한 정렬은 에피택셜 성장 중 계면 응력을 줄이고 결함 도입을 최소화하여 디바이스 제조 시 후속 레이어의 통합을 개선하는 데 도움이 됩니다.

Q3: 기판 치수를 변경할 수 있나요?
A3: 예, 기판 크기는 특정 장비 및 공정 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 조정은 재료 호환성을 평가한 후 결정 특성이 공정 전반에 걸쳐 그대로 유지되도록 보장하기 위해 이루어집니다.

추가 정보

마이크로파 플라즈마 화학 기상 증착을 사용하여 생산된 다이아몬드 기판은 첨단 전자 및 광자 시스템 연구에 필수적인 요소입니다. 제어된 성장 공정을 통해 특정 방향을 가진 단결정을 형성할 수 있으며, 이는 적층 소자의 계면 불일치를 줄이는 데 중요합니다. 세부적인 공정 모니터링과 미세 구조 분석은 이러한 기판에서 일관성을 달성하는 데 핵심적인 역할을 합니다.

최근의 과학적 연구는 기판 성능에서 정밀한 결정학적 방향의 중요성을 강조합니다. 재료 과학과 장치 공학의 교차점은 기판 제조 공정의 개선을 지속적으로 추진하여 다양한 기술 분야의 실험 및 생산 시스템의 정확성과 효율성을 향상시키고 있습니다.

사양

사양	세부 정보
재질	C
크기	10x10x0.4 mm
크리스탈	단결정 MPCVD 다이아몬드
방향	(100) +/-3°
크기	10mm x 10mm(+0.2 /- 0.0mm)
두께	0.4mm +/- 0.05mm
표면 마감	양면 광택 Ra < 30nm
레이저 커프	3°, 작은 쪽 치수