CY11158 질화 티타늄(TiN) 코팅 유리

카탈로그 번호.	CY11158
재료	TiN, 붕규산 유리
순도	TiN: ≥99.995%
양식	기판

질화 티타늄(TiN) 코팅 유리는 제어된 물리적 기상 증착을 통해 고순도 유리 기판 위에 TiN 필름을 증착하여 생산됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 원자력 현미경과 광학 검사를 사용하여 엄격한 필름 두께 및 균일성 측정을 활용합니다. 이 접근 방식은 표면 불규칙성을 최소화하고 반도체 원자재 응용 분야에서 정량화 가능한 필름 무결성을 보장하여 생산 공정에 기술적 일관성을 더합니다.

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FAQ

유리 기판의 TiN 증착 공정에서 제어해야 할 중요한 파라미터는 무엇인가요?

주요 파라미터로는 증착 속도, 챔버 압력, 기판 온도 등이 있습니다. 이러한 요소를 신중하게 제어하면 필름 두께가 균일해지고 반도체 애플리케이션에 필요한 광학 및 전도성 특성에 영향을 줄 수 있는 결함을 최소화할 수 있습니다.

TiN 코팅이 유리 기판의 열 안정성에 어떤 영향을 미치나요?

TiN 필름은 열과 환경 오염 물질에 대한 장벽 역할을 하여 열 복원력을 향상시킵니다. 이는 레이어 간의 열팽창 불일치를 최소화하여 반도체 제조에서 흔히 발생하는 고온 처리 단계에서 안정성을 보장합니다.

TiN 코팅의 무결성을 확인하기 위해 어떤 검사 기법이 권장되나요?

원자력 현미경, 타원 측정 및 광학 검사와 같은 기술은 필름의 균일성과 두께를 평가하는 데 효과적입니다. 이러한 측정은 코팅이 반도체 원료 애플리케이션에 필요한 정밀한 기술 기준을 충족하는지 확인하는 데 도움이 됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

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파라미터	값
재료	TiN, 실리콘 웨이퍼
순도	TiN: ≥99.995%
형태	기판
치수	25751 mm
접착층	없음(요청 시 제공)
TiN 두께	500 Å
코팅 면적	단일 크기(또는 맞춤형)

매개변수	값
재료	TiN, 실리콘 웨이퍼
순도	TiN: ≥99.995%
형태	기판
치수	25751 mm
접착층	없음(요청 시 제공)
TiN 두께	500 Å
코팅 면적	단일 크기(또는 맞춤형)

CY11158 질화 티타늄(TiN) 코팅 유리

질화 티타늄(TiN) 코팅 유리 설명

질화 티타늄(TiN) 코팅 유리 특성

질화 티타늄(TiN) 코팅 유리 적용 분야

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TiN 코팅이 유리 기판의 열 안정성에 어떤 영향을 미치나요?

TiN 코팅의 무결성을 확인하기 위해 어떤 검사 기법이 권장되나요?

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