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| 카탈로그 번호. | OP10336 |
| 재료 | C, Si |
| 크기 | 5x5mm |
다이아몬드 온 옥사이드 웨이퍼(DOI) 5mmx5mmx 2um은 산화물 층에 증착된 다이아몬드 필름으로 구성된 웨이퍼로, 광학 평가 및 마이크로 디바이스 통합을 위해 설계되었습니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 균일한 필름 형성을 위해 제어된 화학 기상 증착을 사용하고 표면 검증을 위해 주사 전자 현미경을 사용합니다. 이 공정은 두께와 구성을 모니터링하여 측정 일관성과 미크론 단위의 정확한 피처 복제를 보장합니다.
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