실리콘 카바이드 진공 척 설명
실리콘 카바이드 진공 척은 소결된 다결정 탄화규소를 사용하여 제조됩니다. 반도체 및 고온 처리 시스템에서 진공 상태를 유지하는 데 사용됩니다. 내구성이 뛰어난 세라믹 구조는 열을 효율적으로 방출하면서 균일한 진공 분포를 지원합니다. 이 설계는 미세 구조적 불일치를 최소화하여 반복적인 열 및 기계적 사이클 동안 성능을 유지합니다. 이 구성품은 높은 작동 안정성이 필수적인 곳에 적용할 수 있습니다.
실리콘 카바이드 진공 척 특성
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파라미터
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값
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구성
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SiC
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밀도(g/cm³)
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3.14
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작동 온도
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≤1700 ℃
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형태
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진공 척
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치수
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제공된 도면에 따름.
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선형 치수 공차
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±0.1mm(0.5 ~ 3mm);
±1.2mm(1000-2000mm)
치수에 따름.
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체적 저항(20℃)
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10^6-10^8 Ω-cm
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굽힘 강도(20℃)
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450 MPa
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열팽창 계수(20℃-1000℃)
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4.3 10-6K-1
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열 전도성
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160 W/mK
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*위의 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
실리콘 카바이드 진공 척 응용 분야
전자 제품
- 실리콘 카바이드의 열 안정성과 기계적 강성을 활용하여 정확한 기판 포지셔닝을 달성하기 위해 반도체 공정 장비의 진공 유지 부품으로 사용됩니다.
- 포토리소그래피 시스템에서 웨이퍼 척으로 적용되어 열팽창을 줄여 온도 변화 시 왜곡을 최소화합니다.
산업용
- 세라믹의 화학적 불활성 및 치수 안정성을 활용하여 공작물 정렬을 유지하기 위해 정밀 가공 도구의 진공 고정 장치로 사용됩니다.
- 자동화된 조립 공정에 사용되어 열 순환 중에 부품을 고정하고 효과적인 열 방출을 통해 기계적 스트레스를 줄입니다.
실리콘 카바이드 진공 척 포장
실리콘 카바이드 진공 척은 정전기 방지 폼 라이닝 용기에 포장되어 운송 중 기계적 충격을 완화하도록 설계되었습니다. 이 제품은 방습 포장으로 밀봉되어 있으며, 재료의 무결성을 유지하기 위해 온도 조절이 가능한 조건에서 보관됩니다. 또한 포장에는 맞춤형 쿠션과 오염 방지 보호 장벽이 포함되어 있습니다. 고객 사양에 따라 벌크 또는 개별 포장 옵션을 준비할 수 있습니다.
추가 정보
실리콘 카바이드는 높은 열전도율, 경도 및 화학적 불활성으로 잘 알려진 세라믹입니다. 이러한 특성 덕분에 고온 및 정밀 가공 환경에 널리 적용될 수 있습니다. 소결 기술과 미세 구조 제어의 발전으로 중요한 산업 용도에 대한 성능이 향상되었습니다.
이 소재의 특성은 운영 안정성과 일관된 성능이 필수적인 시스템에 통합될 수 있도록 지원합니다. 실리콘 카바이드의 열적 및 기계적 거동에 대한 올바른 이해는 반도체 제조 및 정밀 가공을 비롯한 여러 산업 공정에 성공적으로 적용하기 위해 필수적입니다.