맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척 설명
맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척은 SiC로 제조되어 진공 공정에 내재된 열 및 화학적 스트레스에 대한 저항성이 뛰어납니다. 소결 구조는 치수 안정성과 기계적 강도를 높여 표준 반도체 장비와의 호환성을 보장합니다. 실리콘 카바이드의 본질적인 불활성은 주변 공정 가스와의 반응을 최소화하여 열 사이클 동안 민감한 기판을 보호합니다. 이 부품은 고온, 고진공 환경에서 정밀한 제어에 최적화되어 있습니다.
맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척 특성
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파라미터
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값
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구성
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SiC
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밀도(g/cm³)
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3.14
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작동 온도
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≤1700 ℃
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형태
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진공 척
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치수
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제공된 도면에 따름.
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선형 치수 공차
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±0.1mm(0.5 ~ 3mm);
±1.2mm(1000-2000mm)
치수에 따름.
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체적 저항(20℃)
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106-108Ω-cm
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굽힘 강도(20℃)
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450 MPa
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열팽창 계수 (20℃-1000℃)
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4.3 10-6K-1
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열 전도성
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160 W/m-K
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*위의 제품 정보는 이론적데이터를 기반으로하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척 응용 분야
전자 제품
- 반도체 웨이퍼 공정에서 SiC의 높은 열 전도성을 활용하여 열 사이클링에서 안정적인 포지셔닝을 달성하기 위한 고정 장치로 사용됩니다.
- 치수 정확도를 유지하고 표면 오염을 방지하기 위해 진공 증착 시스템의 구성 요소로 적용됩니다.
산업용
- SiC의 압축 강도를 활용하여 고온 작업 중 부품을 고정하기 위해 진공 소결로에서 지지대 역할을 합니다.
- 화학적 불활성으로 인해 오염 위험을 줄이기 위해 진공 상태에서 부품을 고정하기 위한 정밀 가공 설정에 자주 사용됩니다.
맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척 포장
맞춤형 실리콘 카바이드 진공 척은 정전기 방지, 내습성 용기에 충격 흡수 폼으로 포장되어 있습니다. 운송 중 기계적 충격을 완화하기 위해 견고한 상자 안에 고정되어 있습니다. 열적 및 기계적 특성을 유지하려면 온도와 습도가 낮은 환경에 보관하는 것이 좋습니다. 요청 시 맞춤형 라벨링 및 분할 인서트를 포함한 맞춤형 포장 옵션이 제공됩니다.
추가 정보
실리콘 카바이드는 뛰어난 열 및 화학적 복원력으로 널리 연구된 세라믹입니다. 진공 환경에서 사용하면 공정 균일성을 유지하고 고온 작업에서 오염 위험을 줄이는 데 도움이 됩니다. 최근 세라믹 가공 기술의 발전으로 SiC 기반 부품의 기계적 특성이 향상되어 고성능 산업 및 반도체 애플리케이션에 없어서는 안 될 필수 요소로 자리 잡았습니다.
엔지니어링 분야에서 세라믹 소재의 진화는 특히 열 안정성과 불활성이 중요한 환경에서 기존 금속을 대체할 수 있는 대안을 제공했습니다. 제어된 합성과 정밀 가공을 통해 SiC 부품은 향상된 서비스 수명과 운영 일관성을 제공하여 다양한 산업 분야에서 공정 결과를 개선하는 데 기여합니다.