SC11893 실리콘 카바이드 정전기 척

카탈로그 번호.	SC11893
재료	SiC
양식	정전기 척
치수	사용자 지정

실리콘 카바이드 정전기 척은 반도체 공정에서 정밀한 열 관리 및 전하 제어를 위해 정제된 탄화규소를 사용하여 개발된 세라믹 부품입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(SAM)는 X선 회절 및 현미경 표면 분석을 포함한 엄격한 재료 특성 분석을 통해 치수 정확도와 미세 구조 무결성을 모니터링합니다. 이러한 측정된 품질 관리 접근 방식은 생산 배치 전체에서 변동을 최소화하고 일관된 성능을 유지합니다.

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실리콘 카바이드의 열 전도성은 정전기 척의 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

SiC의 높은 열전도율은 반도체 공정 중에 열을 효율적으로 발산하는 데 도움이 됩니다. 따라서 온도 변화를 최소화하고 웨이퍼에 가해지는 열 스트레스를 줄여줍니다. 일관된 공정 결과를 위해서는 제어된 열 조건을 유지하는 것이 중요합니다. 자세한 기술 정보는 당사에 문의하세요.

정전기 척의 성능에서 표면 마감은 어떤 역할을 하나요?

표면이 잘 연마되면 전하가 균일하게 분포되고 국부적인 핫스팟이 최소화됩니다. 표면이 매끄러우면 웨이퍼 공정 중 고르지 않은 접촉이나 열 불규칙성을 유발할 수 있는 결함이 줄어듭니다. 제조업체는 필요한 마감을 달성하기 위해 세심한 표면 검사를 사용합니다.

작동 온도 범위가 척의 재료 무결성에 어떤 영향을 미칠 수 있나요?

지정된 온도 한계 내에서 작동하면 SiC 부품의 기계적 강도와 전기 절연 특성을 유지할 수 있습니다. 이 범위를 초과하면 미세 구조 변화 또는 성능 저하가 발생할 수 있습니다. 운영 지침 및 최대 온도 임계값에 대해서는 문의하세요.

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파라미터	값
구성	SiC
밀도(g/cm³)	3.14
작동 온도	≤1700 ℃
형태	정전기 척
치수	제공된 도면에 따릅니다.
선형 치수 공차	±0.1mm(0.5 ~ 3mm); ±1.2mm(1000-2000mm) 치수에 따름.
체적 저항(20℃)	^106-108Ω-cm
굽힘 강도(20℃)	450 MPa
열팽창 계수(20℃-1000℃)	4.3 ^10-6K-1
열 전도성	160 W/m-K

매개변수	값
구성	SiC
밀도(g/cm³)	3.14
작동 온도	≤1700 ℃
형태	정전기 척
치수	제공된 도면에 따릅니다.
선형 치수 공차	±0.1mm(0.5 ~ 3mm); ±1.2mm(1000-2000mm) 치수에 따름.
체적 저항(20℃)	^106-108Ω-cm
굽힘 강도(20℃)	450 MPa
열팽창 계수(20℃-1000℃)	4.3 ^10-6K-1
열 전도성	160 W/m-K

SC11893 실리콘 카바이드 정전기 척

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실리콘 카바이드의 열 전도성은 정전기 척의 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

정전기 척의 성능에서 표면 마감은 어떤 역할을 하나요?

작동 온도 범위가 척의 재료 무결성에 어떤 영향을 미칠 수 있나요?

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