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SI11491 웨이퍼 바스켓이 있는 용융 석영 세척 탱크

카탈로그 번호. SI11491
재료 퓨즈드 쿼츠
양식 바구니

웨이퍼 바스켓이 포함된 용융 석영 세척 탱크는 웨이퍼 처리 중 화학적 반응성을 최소화하는 고순도 용융 석영으로 제작된 세척 장치입니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 X-선 회절 및 열충격 테스트와 같은 분석 방법을 사용하여 구조적 무결성을 검증하여 제품을 엔지니어링합니다. 이 설계는 정밀 가공된 웨이퍼 바스켓을 통합하여 반도체 애플리케이션에서 엄격한 품질 관리 프로토콜을 준수하면서 세척 절차를 제어할 수 있도록 지원합니다.

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FAQ

퓨즈드 쿼츠의 고유한 특성이 웨이퍼 세척 애플리케이션에 어떤 이점을 제공합니까?

퓨즈드 쿼츠는 화학 반응성이 낮고 입자 흘림이 최소화되어 섬세한 세척 주기 동안 웨이퍼 무결성을 유지하는 데 매우 중요합니다. 불활성 특성 덕분에 세척제가 재료와 악영향을 미치지 않아 오염 위험이 줄어듭니다.

반도체 공정 중 세정 탱크에서 중요한 운영 고려 사항은 무엇입니까?

용융 석영은 제어된 온도 조건에서 예측 가능하게 반응하므로 작업자는 열 변화와 세척 화학 물질의 호환성을 고려해야 합니다. 점진적인 온도 변화를 보장하면 열 충격을 방지하고 기기의 무결성을 유지할 수 있습니다.

이 세정 탱크를 자동화된 반도체 생산 시스템에 통합할 수 있나요?

예, 표준 처리 시스템과 일치하는 웨이퍼 바스켓이 설계에 통합되어 있습니다. 기하학적 구조와 재료 선택으로 통합이 용이하여 수작업을 줄이고 공정 일관성을 높일 수 있습니다.

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