실리콘 질화물 탈기 로터

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실리콘

실리콘 화합물

카탈로그 번호.	SM9727
화학 공식	Si3N4
분자량	140.28 g/mol
밀도	3.18 - 3.44 g/cm³

실리콘 질화물 탈기 로터는 효율적인 가스 배출이 중요한 애플리케이션을 위해 설계된 고순도 Si3N4를 사용하여 생산됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 전자 현미경을 이용한 제어 소결 및 미세 구조 평가를 통해 재료 일관성 및 로터 형상을 모니터링합니다. 로터는 구조적 무결성을 유지하면서 고온 처리 시 휘발성 화합물을 최소화하도록 설계되었습니다. SAM은 미세 구조 안정성을 보장하기 위해 경험적 열 순환 테스트를 실질적인 품질 관리 수단으로 활용합니다.

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실리콘 질화물 탈기 로터 설명

질화규소(Si3N4)로 제조된 실리콘 질화물 탈기 로터는 고온에서 작동하는 공정 장비에서 가스 제거 역할을 위해 개발되었습니다. 이 소재의 화학적 불활성 및 열 안정성은 세라믹 및 반도체 환경에서 휘발성 오염을 완화하는 역할을 합니다. 엔지니어링된 미세 구조는 동적 작동 시 기계적 무결성을 유지하면서 효율적인 가스 제거를 용이하게 합니다. 이 구성 요소는 고온 처리 중 불순물을 줄여 공정 최적화를 지원하도록 설계되었습니다.

실리콘 질화물 탈기 로터 응용 분야

1.반도체 제조
- 진공로에서 로터로 사용되어 화학적 불활성을 활용하여 오염을 낮춥니다. 이를 통해 가스 포함을 최소화하고 전반적인 공정 순도를 높일 수 있습니다.

2.세라믹 공정
- 고온 오븐의 가스 제거 부품으로 적용되어 효율적인 가스 배출을 통해 갇힌 휘발성 물질을 제거합니다. 이를 통해 세라믹 제품의 치밀화를 향상시키고 다공성을 줄입니다.

3.산업 장비
- 열 안정성을 활용하여 산업용 용광로 내 가스 제거 시스템의 구성 요소로 사용되어 대기 구성을 제어합니다. 이 접근 방식은 공정 결함을 줄이고 재료 균질성을 향상시킵니다.

질화규소 가스 제거 로터 포장

로터는 기계적 충격과 오염을 방지하기 위해 쿠션이 있는 정전기 방지 용기에 포장되어 있습니다. 보호 포장과 밀봉 파우치는 운송 중 습기와 화학 물질 노출로부터 로터를 보호합니다. 포장재는 통제된 환경을 유지하도록 설계되어 설치 전에 무결성을 보장합니다. 특정 보관 및 취급 요건을 충족하기 위해 습기 차단 백, 폼 안감 케이스 등 맞춤형 포장 옵션을 사용할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

Q1: 고온 사이클 동안 로터는 어떻게 성능을 유지하나요?
A1: 로터의 Si3N4 구성은 급격한 온도 변화 시 성능 저하를 최소화하는 열 안정성을 보여줍니다. 경험적 열 순환 및 미세 구조 평가를 통해 치수 무결성과 가스 배출 용량이 작동 스트레스 하에서도 안정적으로 유지되도록 보장합니다.

Q2: 로터의 미세 구조를 검증하는 데는 어떤 방법이 사용되나요?
A2: SAM은 입자 크기와 상 분포를 검사하기 위해 전자 현미경과 제어 소결 시험을 시행합니다. 이러한 절차는 로터가 고온 응용 분야에서 효과적인 가스 제거에 필요한 엄격한 미세 구조 기준을 충족하는지 확인하는 데 도움이 됩니다.

Q3: 로터 설계를 다른 공정 시스템에 맞게 조정할 수 있나요?
A3: 예, 로터 치수와 표면 마감을 수정할 수 있는 맞춤형 옵션을 사용할 수 있습니다. 이러한 적응성은 다양한 처리 환경과의 호환성을 보장하여 특정 시스템 요구 사항에 맞게 가스 제거 성능을 최적화할 수 있도록 목표에 맞게 조정할 수 있습니다.

추가 정보

실리콘 질화물 세라믹은 열 충격과 화학적 공격에 대한 저항성으로 재료 과학 분야에서 널리 인정받고 있습니다. 이 소재의 구조는 극한 환경에서도 효과적인 성능을 발휘할 수 있어 고온에서의 안정성이 중요한 애플리케이션에 적합합니다. 엔지니어들은 기계적 강도와 불활성 거동 사이의 균형이 필요한 부품에 Si3N4를 활용합니다.

질화규소의 기본 특성을 이해하면 첨단 처리 시스템에서 더 나은 통합이 가능합니다. 산업용 가스 제거 애플리케이션에서 부품의 성능과 수명에 직접적인 영향을 미치는 소결 프로토콜과 미세 구조 개선을 최적화하기 위한 연구가 계속되고 있습니다.

사양

사양	세부 정보
분자량	140.28 g/mol
밀도	3.18 - 3.44 g/cm³
녹는점	~1900°C(분해)
굴곡 강도(3점)	800 - 1000 MPa
파단 인성	5.0 - 8.0 MPa-√m
영 계수	310 GPa
비커스 경도	14 - 17 GPa
열팽창 계수	2.6 × 10-⁶/K(40-400°C)
열 전도성	25°C에서 85W/(m-K)
유전 상수	7.8 - 9.4(1MHz 기준)
체적 저항	25°C에서 >10¹⁴ Ω-cm