알루미늄 로터리 타겟, Al 타겟 설명
알루미늄 로터리 타겟, Al 타겟은 스퍼터링 증착 시스템용 고순도 알루미늄을 사용하여 생산됩니다. 타겟의 회전식 설계는 스퍼터링 공정 중 고른 에로젼과 재료 활용을 용이하게 합니다. 맞춤형 치수로 다양한 증착 챔버와의 호환성을 보장하여 박막 균일성을 최적화합니다. 제어된 입자 구조와 정의된 융점을 포함한 재료 특성은 정밀한 금속 기화가 요구되는 공정에서 안정적인 성능을 지원합니다.
알루미늄 로터리 타겟, Al 타겟 특성
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파라미터
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값
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조성
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Al
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순도
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≥99.99%
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형태
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표적
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모양
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관형
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치수
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맞춤형
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밀도
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2.7g/cm3
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스퍼터링 방법
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DC
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열 전도성
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235 W/m-K
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융점
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660℃
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열팽창 계수
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23.1 x 10-6
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결합 유형
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인듐, 엘라스토머
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위의 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
알루미늄 로터리 타겟, 알루미늄 타겟 응용 분야
전자 및 반도체 공정
- 제어된 재료 구성을 활용하여 균일한 박막 코팅을 달성하기 위해 반도체 증착에서 스퍼터링 타겟으로 사용됩니다.
- PVD 시스템에서 전도성 층을 증착하기 위한 금속 소스로 적용되어 마이크로 전자 회로 개발을 지원합니다.
산업용 코팅 및 표면 처리
- 재료 분포를 향상시키는 회전식 설계를 활용하여 표면 처리 시스템의 코팅 성분으로 사용되어 접착력과 필름 균일도를 향상시킵니다.
- 산업용 부품의 장식 및 보호 코팅의 기초가 되며, 맞춤형 치수 맞춤화를 통해 필름 일관성을 보장합니다.
알루미늄 로터리 타겟, 알루미늄 타겟 포장
알루미늄 로터리 타겟, Al 타겟은 방습 및 정전기 방지 소재를 사용하여 포장됩니다. 기계적 충격과 오염을 완화하기 위해 폼 안감으로 밀폐된 용기에 고정되어 있습니다. 산화를 최소화하기 위해 습도가 낮은 통제된 환경에 보관하는 것이 좋습니다. 포장 디자인은 대상 크기와 배송 요건에 따라 맞춤화가 용이합니다. 각 패키지에는 운송 중 적절한 취급과 추적성을 보장하기 위해 명확한 라벨이 부착되어 있습니다.
추가 정보
알루미늄 스퍼터링 타겟은 물리적 기상 증착 시스템에서 중요한 역할을 하며 다양한 산업에서 박막 형성을 위한 원료를 제공합니다. 정의된 융점 및 일관된 밀도와 같은 알루미늄의 특성은 증착 공정의 효율성에 직접적인 영향을 미치며 결과물의 품질과 균일성에 영향을 미칩니다.
알루미늄의 입자 정제 거동과 조성 안정성을 비롯한 알루미늄의 야금학적 측면을 이해하는 것은 스퍼터링 응용 분야를 최적화하는 데 필수적입니다. 재료 특성화의 과학적 발전은 알루미늄 타겟의 신뢰성을 지속적으로 향상시켜 점점 더 정교해지는 제조 환경에서 알루미늄 타겟의 사용을 지원합니다.