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Stanford Advanced Materials
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ST11168 알루미늄 산화물 평면 스퍼터링 타겟, Al2O3 타겟

카탈로그 번호. ST11168
구성 Al2O3
순도 ≥99.99%
양식 Target
모양 직사각형
치수 사용자 지정

알루미늄 산화물 평면 스퍼터링 타겟, Al2O3 타겟은 통제된 조건에서 가공된 고순도 알루미나를 사용하여 제조됩니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 평탄도와 순도를 확인하기 위해 X-선 회절 및 표면 프로파일 측정을 포함한 상세한 검사 프로토콜을 사용합니다. 생산 공정에서는 조성 일관성과 미세 구조 무결성을 엄격하게 모니터링하여 타겟이 스퍼터링 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

스퍼터링 애플리케이션에서 평면 구성이 필름 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

평면형 구성은 타겟과 기판 간 거리를 일정하게 유지하여 필름 균일성을 향상시킵니다. 이는 반도체 및 광학 장치 제조에서 코팅을 적용할 때 중요한 증착률의 변화를 최소화합니다.

알루미늄 산화물 타겟에는 어떤 품질 보증 방법이 적용되나요?

타겟은 레이저 프로파일 측정과 X-선 형광을 통한 성분 분석을 통해 치수 검사를 거칩니다. 이러한 방법을 통해 미세 구조와 화학 성분이 스퍼터링 애플리케이션의 엄격한 요구 사항을 충족하는지 확인합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

스퍼터링 타겟의 치수를 특정 장비에 맞게 맞춤 설정할 수 있나요?

예, 다양한 스퍼터링 시스템에 맞게 치수를 사용자 정의할 수 있습니다. 사용자 정의는 증착 장비와의 적절한 통합을 보장하여 공정 효율과 필름 증착 일관성을 최적화합니다.

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