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Stanford Advanced Materials
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ST11170 알루미늄 실리콘 평면 타겟, AlSi 타겟

카탈로그 번호. ST11170
구성 Al, Si
콘텐츠 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 직사각형
치수 사용자 지정

알루미늄 실리콘 평면 타겟, AlSi 타겟은 박막 증착 공정을 위해 알루미늄-실리콘 합금으로 설계된 스퍼터링 타겟입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 SEM 기반 미세 구조 분석을 포함한 엄격한 분석 방법을 사용하여 합금의 균일성과 조성을 확인합니다. SAM은 생산 과정에서 체계적인 품질 관리 프로토콜을 활용하여 합금 일관성을 모니터링함으로써 타겟이 정밀 스퍼터링 애플리케이션에 필요한 세부 사양을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

합금 구성이 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

알루미늄-실리콘 비율은 필름 균일성과 증착 속도에 영향을 미칩니다. 제어된 조성은 미립자를 최소화하고 재현 가능한 박막 특성을 보장합니다. 이러한 일관성은 균일한 전기적 및 기계적 특성이 필요한 장치에 필수적입니다.

대상의 표면 품질을 유지하기 위해 어떤 조치가 취해지나요?

SAM은 표면 거칠기 측정 및 현미경 검사를 포함한 체계적인 품질 관리를 적용하여 결함을 감지하고 완화합니다. 이러한 조치는 증착 챔버에서 균일한 스퍼터링에 중요한 평탄한 표면을 유지하는 데 도움이 됩니다.

다양한 스퍼터링 시스템에 맞게 타겟 치수를 조정할 수 있습니까?

예, 치수는 다양한 스퍼터링 시스템에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 타겟 크기를 조정하면 특정 증착 챔버 설계를 수용하여 호환성과 최적의 필름 증착 효율을 보장할 수 있습니다. 자세한 커스터마이징은 당사에 문의하시기 바랍니다.

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