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Stanford Advanced Materials
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ST11177 코발트 로터리 타겟, 공동 타겟

카탈로그 번호. ST11177
구성 Co
순도 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 관형
치수 사용자 지정

코발트 로터리 타겟, Co 타겟은 물리적 기상 증착 공정을 위해 코발트로 제조된 스퍼터링 타겟입니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 전자 현미경 및 스펙트럼 분석 방법을 사용하여 엄격한 품질 관리를 적용하여 재료 순도와 미세 구조의 일관성을 확인합니다. SAM은 반복 가능한 배치 테스트와 보정된 기기를 사용하여 각 타겟이 스퍼터링 응용 분야에 맞는 정의된 구성 및 성능 기준을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

증착 공정에서 코발트 조성은 스퍼터링 거동에 어떤 영향을 미칩니까?

코발트 조성은 스퍼터링 중 침식 속도와 균일성에 영향을 미칩니다. 제어된 원소 조성은 예측 가능한 침식을 보장하며, 이는 반도체 제조에서 일관된 박막 증착에 필수적입니다. 자세한 처리 지침은 당사에 문의하세요.

생산 과정에서 로터리 타겟의 미세 구조를 제어하기 위해 어떤 조치가 취해지나요?

생산 공정에는 보정된 열처리와 주사 전자 현미경을 사용한 후처리 검사가 포함됩니다. 이러한 단계는 미세 구조의 불일치를 최소화하여 레이어 균일성과 증착 속도가 애플리케이션별 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.

특정 장비 요구 사항을 충족하도록 대상 치수를 사용자 지정할 수 있나요?

예, 치수는 맞춤형 옵션으로 제공됩니다. 고객은 증착 장비와의 호환성을 보장하기 위해 필요한 크기를 지정할 수 있습니다. 치수 사용자 지정에 대한 자세한 내용은 문의해 주세요.

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