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ST11178 철 코발트 붕소 로터리 타겟, CoFeB 타겟

카탈로그 번호.	ST11178
구성	CoFeB
순도	≥99.9% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

철 코발트 붕소 로터리 타겟, CoFeB 타겟은 균일한 스퍼터링 특성을 보장하기 위해 제어된 합금 조성으로 제작됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 전용 진공 아크 용융에 이어 엄격한 SEM 및 EDS 분석을 통해 재료 균질성을 검증합니다. 제품은 저압 스퍼터링 공정에서 필름 균일성에 영향을 줄 수 있는 미세 구조 불일치를 줄이기 위해 엄격한 야금 조건에서 처리됩니다.

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설명

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리뷰

FAQ

박막 증착 시 CoFeB 타겟의 스퍼터링 거동에 영향을 미치는 요인은 무엇인가요?

스퍼터링 거동은 합금 균질성, 타겟 밀도 및 미세 구조적 특징의 영향을 받습니다. 이러한 파라미터의 변화는 증착 속도와 필름 균일성에 영향을 줄 수 있습니다. SEM을 사용한 상세한 품질 관리는 최적화된 성능을 위해 필요한 재료 특성을 검증하는 데 도움이 될 수 있습니다.

타겟의 로터리 설계가 스퍼터링 공정에서 어떻게 성능을 향상시킬 수 있을까요?

회전식 설계로 대상 표면 전체에 균일한 에로젼이 가능하여 국부적인 과열을 줄이고 재료 분포를 균일하게 유지합니다. 이는 일관된 증착 특성을 촉진하며, 특히 대형 기판 전체에 균일한 필름 코팅이 필요한 애플리케이션에 중요합니다.

CoFeB 스퍼터링 타겟의 서비스 수명을 연장하기 위해 권장되는 유지보수 관행은 무엇인가요?

표면 마모 여부를 정기적으로 검사하고 스퍼터링 중 적절한 냉각을 유지하며 통제된 보관 조건을 따라야 합니다. 이러한 관행은 오염과 물리적 성능 저하를 방지하여 타겟의 작동 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

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