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ST11182 구리 알루미늄 로터리 타겟, CuAl 타겟

카탈로그 번호.	ST11182
구성	Cu, Al
순도	≥99.9% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

구리 알루미늄 로터리 타겟, CuAl 타겟은 균일한 박막 증착을 위해 설계된 구리-알루미늄 합금으로 구성된 스퍼터링 타겟입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 생산 과정에서 SEM 검사를 포함한 엄격한 야금 분석을 적용하여 합금 구성과 구조적 일관성을 검증합니다. 이 접근 방식은 미세 구조 무결성과 표면 마감에 대한 엄격한 제어를 유지하면서 애플리케이션별 맞춤화를 지원합니다.

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FAQ

로터리 설계가 스퍼터링 공정에서 필름 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

회전식 구성은 동적 타겟 노출을 보장하여 국부적인 침식을 최소화하고 필름 증착 시 재료가 균일하게 분포되도록 촉진합니다. 이 설계는 공정 변동성을 줄여 대량 스퍼터링에 유리합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

합금 조성을 모니터링하기 위해 어떤 품질 관리 방법이 구현되나요?

SAM은 생산 과정에서 상세한 금속학적 평가와 주사 전자 현미경(SEM)을 사용하여 정밀한 합금 구성과 미세 구조적 특성을 검증함으로써 생산 배치 전반에 걸쳐 일관성을 보장합니다. 자세한 내용은 문의하세요.

특정 스퍼터링 시스템에 맞게 타겟의 치수를 맞춤 설정할 수 있습니까?

예, 치수는 다양한 스퍼터링 시스템 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 제공됩니다. 이러한 유연성 덕분에 표준 또는 특수 증착 시스템에 통합할 수 있어 공정 호환성이 향상됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

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