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ST11183 구리 갈륨 로터리 타겟, CuGa 타겟

카탈로그 번호.	ST11183
구성	Cu, Ga
순도	≥99.99% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

구리 갈륨 로터리 타겟, CuGa 타겟은 스퍼터링 응용 분야를 위해 세심하게 조성을 제어한 구리-갈륨 합금을 사용하여 생산됩니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 정량적 분광 및 이미징 평가와 결합된 고급 용융 및 회전 단조 기술을 사용하여 조성 균일성 및 표면 무결성을 검증합니다. 품질 관리 프로세스는 일상적인 주사 전자 현미경 분석을 기반으로 하여 재료의 일관성을 보장합니다. 이러한 방법론은 증착 절차 중 정확한 타겟 침식 거동과 안정적인 플라즈마 조건을 지원합니다.

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FAQ

구리-갈륨 합금 조성은 스퍼터링 증착 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

제어된 합금 조성은 증착 중에 일관된 침식 속도와 균일한 플라즈마 분포를 유지하는 데 도움이 됩니다. 이러한 일관성은 스퍼터링 애플리케이션에서 균일한 필름 두께를 달성하는 데 매우 중요합니다.

이 타겟을 제조하는 동안 어떤 품질 관리 방법이 사용되나요?

제조 공정에는 합금 균일성과 표면 품질을 보장하기 위해 분광 분석과 주사 전자 현미경이 포함됩니다. 이러한 기술은 안정적인 스퍼터링 성능을 지원하기 위해 조성 정확도와 미세 구조를 모니터링합니다.

특정 스퍼터링 시스템에 대한 목표 치수를 사용자 지정할 수 있습니까?

예, 타겟은 특정 스퍼터 증착 챔버 요구 사항에 맞게 맞춤형 치수로 제공되므로 적절한 통합 및 증착 효율을 보장합니다.

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