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ST11186 구리 니켈 티타늄 로터리 타겟, CuNiTi 타겟

카탈로그 번호.	ST11186
구성	Cu, Ni, Ti
순도	≥99.9% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

구리 니켈 티타늄 로터리 타겟, CuNiTi 타겟은 박막 증착 공정을 위해 설계된 다원소 스퍼터링 타겟입니다. 이 제품은 전자 현미경을 이용한 체계적인 합금 조성 제어 및 상세한 미세 구조 분석을 사용하는 Stanford Advanced Materials(SAM)에서 생산합니다. 품질 관리에는 변동성을 줄이기 위한 엄격한 조성 분석과 인라인 결함 검사가 포함됩니다. 정밀한 공정 단계는 필름 균일성을 향상시키고 산업용 스퍼터링 셋업에서 일관된 증착 속도를 제공합니다.

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설명

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FAQ

CuNiTi 타겟의 미세 구조가 스퍼터링 공정에 어떤 영향을 미치나요?

미세 구조는 필름 균일성과 증착 속도에 직접적인 영향을 미칩니다. 정제된 입자 구조는 스퍼터링 중 입자 생성을 최소화합니다. SEM을 사용한 상세한 분석은 공정 파라미터를 최적화하여 결함 밀도를 낮추는 데 도움이 됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

필름 증착 성능에서 정밀한 합금 구성은 어떤 역할을 하나요?

정밀한 합금 조성은 타겟 표면으로의 에너지 전달을 제어하여 안정적인 스퍼터링 동작을 보장합니다. 이를 통해 일관된 침식 속도와 기판의 필름 접착력이 향상됩니다. 자세한 기술 인사이트는 당사에 문의하세요.

로터리 타겟의 결함을 줄이기 위해 어떤 생산 기술이 사용됩니까?

타겟은 제어 주조 및 회전 단조 기술을 사용하여 처리한 다음 표면 평탄화 작업을 거칩니다. 이러한 방법은 내포물과 미세 균열을 효과적으로 줄여 안정적인 스퍼터링 파라미터에 기여합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

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