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ST11187 구리 티타늄 로터리 타겟, CuTi 타겟

카탈로그 번호.	ST11187
구성	Cu, Ti
순도	≥99.5% 이상 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

구리 티타늄 로터리 타겟, CuTi 타겟은 정밀한 야금학적 제어를 통해 물리적 기상 증착 스퍼터링 공정을 위해 설계되었습니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 생산 과정에서 전자 현미경 및 분광 분석을 실시하여 합금 균질성 및 미세 구조 일관성을 검증합니다. 이 데이터 기반 품질 관리 프로세스는 조성 변화를 최소화하고 증착 균일성을 향상시켜 까다로운 코팅 작업에서 타겟을 효과적으로 만듭니다.

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FAQ

구리-티타늄 구성이 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

합금의 균형 잡힌 구성은 스퍼터링 수율과 증착 속도를 제어합니다. 미세 구조적 균일성은 기판 위 박막의 균일성에 영향을 미칩니다. 이러한 일관성은 박막 두께와 접착력이 디바이스 성능에 필수적인 애플리케이션에서 매우 중요합니다.

제작 과정에서 어떤 제작 품질 관리 조치가 적용되나요?

SAM은 전자 현미경과 분광 분석을 사용하여 합금의 균질성을 모니터링하고 미세 구조적 결함을 감지합니다. 이를 통해 스퍼터링 타겟이 엄격한 조성 공차를 유지하도록 보장하며, 이는 생산 배치 전체에서 예측 가능한 증착 거동을 달성하는 데 필수적입니다.

CuTi 타겟은 고출력 스퍼터링 시스템에서 사용하기에 적합합니까?

예, 이 타겟은 고전력 환경을 위해 설계되었습니다. 엔지니어링 합금 구성과 제어된 미세 구조로 열 부하 및 침식 특성을 관리하여 타겟 수명을 연장해야 하는 시스템에서 안정적인 작동에 기여합니다.

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