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ST11191 인듐 로터리 타겟, 타겟 내

카탈로그 번호.	ST11191
구성	In
순도	≥99.99% 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

인듐 로터리 타겟, 인 타겟은 고순도 인듐을 사용하는 스퍼터링 증착 공정을 위해 설계되었습니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 진공 아크 용융과 주사 전자 현미경(SEM)을 통한 표면 분석을 적용하여 미세 구조의 균일성을 모니터링합니다. 이 제조 공정은 일관된 박막 증착을 지원하기 위해 치수 정확도와 제어된 표면 마감을 강조합니다. SAM은 정량적 품질 관리 방법을 통합하여 주요 파라미터를 검증하고 제품이 정밀한 기술 기준을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

스퍼터링 중 로터리 설계가 필름 균일성에 미치는 영향은 무엇인가요?

회전식 구성은 대상 표면 전체에 고른 침식을 촉진하여 일관된 증착 속도와 박막 두께를 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 설계는 국부적인 박리 현상을 최소화하고 넓은 기판 영역에서 균일한 박막 특성을 지원합니다.

사용자 정의 치수는 증착 프로세스에 어떤 영향을 미칩니까?

맞춤형 치수를 통해 타겟을 특정 스퍼터링 장비에 맞출 수 있어 적절한 정렬과 균일한 전력 분배를 보장합니다. 이는 에지 효과를 줄이고 증착된 필름의 균질성을 높이는 데 기여합니다.

대상의 표면 무결성을 평가하기 위해 어떤 품질 관리 방법이 적용되나요?

SAM은 표면 질감과 일관성을 확인하기 위해 주사 전자 현미경(SEM)과 공정 중 치수 계측을 통한 표면 프로파일링을 사용합니다. 이러한 기술은 스퍼터링 시스템에 배치하기 전에 미세 구조적 불규칙성을 식별하는 데 도움이 됩니다.

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