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    • ST11194 망간 로터리 타겟, Mn 타겟

    카탈로그 번호. ST11194
    구성 Mn
    순도 ≥99.9% 또는 사용자 지정
    양식 Target
    모양 관형
    치수 사용자 지정

    망간 로터리 타겟, Mn 타겟은 로터리 스퍼터링을 통해 망간 필름을 증착하는 데 사용되는 스퍼터링 타겟입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)에서 개발한 이 제품은 엄격하게 제어된 재료 순도와 균일한 결정 구조가 특징입니다. SAM은 증착 시 변동성을 최소화하기 위해 X-선 회절 분석과 표면 검사 등 엄격한 품질 관리를 적용합니다. 이러한 공정 제어는 스퍼터링 애플리케이션에서 필름 균일성과 일관된 성능을 유지하는 데 기여합니다.

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    FAQ

    표면 마감과 재료 순도가 스퍼터링 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

    미세한 표면 마감과 높은 재료 순도는 입자 생성을 최소화하여 스퍼터링 중 침식 속도가 더욱 균일해집니다. 그 결과 타겟 변동성이 크지 않고 기판 위에 보다 균일한 필름을 증착할 수 있습니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

    사용자 지정 차원이 목표 성능 및 프로세스 안정성에 어떤 영향을 미칩니까?

    맞춤형 치수를 통해 타겟을 특정 스퍼터링 시스템 구성과 일치시켜 필름 두께 일관성과 증착 속도 안정성을 개선할 수 있습니다. 이러한 조정은 침식 속도와 타겟 수명 간의 최적의 균형을 달성하는 데 도움이 됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

    오염 위험을 줄이기 위해 어떤 사전 스퍼터링 절차가 권장되나요?

    짧은 컨디셔닝 실행을 사용한 사전 스퍼터링은 표면 오염 물질을 제거하여 실제 증착 시 입자 방출을 줄일 수 있습니다. 이 처리는 타겟의 에로젼 프로파일을 안정화시키고 공정 중단을 최소화합니다. 자세한 안내는 당사에 문의하세요.

    마지막 추천

    MP0255 Micro Manganese Powder (Mn) 1000μm
    MP0255 마이크로 망간 분말(Mn) 1000μm
    비교에 추가
    Manganese Powder (Mn) (CAS No. 7439-96-5)
    MP0256 망간 분말(Mn)(CAS 번호 7439-96-5)
    비교에 추가
    VD0562 Manganese (Mn) Evaporation Materials
    VD0562 망간(Mn) 증발 재료
    비교에 추가
    Iron Manganese (Fe/Mn) Evaporation Materials
    VD0628 철 망간(Fe/Mn) 증발 재료
    비교에 추가
    Manganese Copper (Mn/Cu) Evaporation Materials
    VD0630 망간 구리(Mn/Cu) 증착 재료
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    Manganese Nickel (Mn/Ni) Evaporation Materials
    VD0631 망간 니켈(Mn/Ni) 증착 재료
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    Nickel Manganese (Ni/Mn) Evaporation Materials
    VD0640 니켈 망간(Ni/Mn) 증착 재료
    비교에 추가
    Lanthanum Manganate (LaMnO3) Evaporation Materials
    VD0699 망간산 란탄(LaMnO3) 증발 재료
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