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Stanford Advanced Materials
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ST11197 니오븀 평면 타겟, Nb 타겟

카탈로그 번호. ST11197
구성 Nb
순도 ≥99.95% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 직사각형
치수 사용자 지정

니오븀 평면 타겟, Nb 타겟은 박막 증착을 위해 고순도 니오븀으로 제조된 스퍼터링 타겟입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 고급 재료 처리 프로토콜과 X-선 회절 및 주사 전자 현미경과 같은 표면 특성화 기술을 사용하여 이 타겟을 생산합니다. SAM은 여러 단계에서 엄격한 검사 절차를 시행하여 균일한 구성과 구조적 일관성을 검증함으로써 타겟이 최신 스퍼터링 시스템의 엄격한 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

기판 온도가 니오븀 타겟의 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

기판 온도의 변화는 필름 접착력과 증착 속도에 영향을 미칠 수 있습니다. 온도가 낮으면 아다톰 이동성이 감소하여 필름이 균일하지 않을 수 있으며, 가열을 제어하면 필름 밀도가 향상됩니다. 최적의 공정 튜닝을 위해서는 통제된 조건에서 실험하는 것이 좋습니다. 자세한 안내가 필요한 경우 당사에 문의하세요.

니오븀 순도는 스퍼터링 공정에 어떤 방식으로 영향을 미칩니까?

니오븀 순도가 높을수록 증착 시 미세 구조적 결함을 유발할 수 있는 오염 물질을 최소화합니다. 균일한 필름 형태와 일관된 전기적 특성을 촉진합니다. 표면 분석을 통한 품질 관리로 지정된 순도 수준을 유지하는 데 도움이 됩니다. 추가 기술 지원이 필요한 경우 당사에 문의하세요.

대상의 표면 무결성을 보존하기 위해 권장되는 유지 관리 절차는 무엇인가요?

SEM을 사용하여 주기적으로 검사하고 비반응성 용매로 부드럽게 세척하면 표면 오염을 완화할 수 있습니다. 미세 스크래치를 방지하기 위해 연마성 세척 방법을 피하십시오. 일상적인 모니터링을 통해 타겟이 균일한 구성과 스퍼터링 효과를 유지할 수 있도록 합니다. 자세한 권장 사항은 당사에 문의하세요.

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