니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟 설명
니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟은 화학적으로 불활성인 내화성 니오븀(Nb)으로 제조된 스퍼터링 타겟입니다. 맞춤형 치수로 제작되어 다양한 증착 시스템과의 호환성을 보장합니다. 이 소재는 높은 융점 특성과 일관된 기계적 거동을 나타내며, 이는 증착 속도와 필름 균일성을 유지하는 데 매우 중요합니다. 상세한 생산 및 품질 검사 방법은 반도체 및 미세 제조 애플리케이션을 위한 정밀한 재료 특성을 지원합니다.
니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟 특성
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특성
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Value
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구성
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Nb
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순도
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≥99.95% 또는 맞춤형
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형태
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Target
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모양
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관형
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밀도
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≥8.57g/cm3
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열 전도성
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54 W/m-K
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치수
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맞춤형
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위의 제품 정보는 이론적 데이터를 기반으로 하며 참고용으로만 제공됩니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.
니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟 응용 분야
1.전자 및 반도체 제조
- 순수 니오븀의 화학적 불활성을 활용하여 균일한 박막을 얻기 위한 반도체 증착의 스퍼터링 타겟으로 사용됩니다.
- 집적 회로 제조에서 코팅 소스로 적용되어 일관된 타겟 조성을 통해 정밀한 박막 두께 제어를 지원합니다.
2.산업용 코팅 공정
- 니오븀의 높은 융점을 활용하여 내마모성 코팅을 형성하기 위한 물리적 기상 증착 시스템의 재료 기반 역할을 합니다.
- 제어된 필름 구조로 성능을 향상시키는 산업 장비의 장식 또는 기능성 코팅 응용 분야에 사용됩니다.
니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟 패킹
니오븀 로터리 타겟, Nb 타겟은 물리적 손상과 오염을 방지하기 위해 쿠션이 있는 폼 안감 상자 안에 정전기 방지 밀폐 용기에 포장되어 있습니다. 보호 밀봉으로 습기 및 미립자에 대한 노출을 최소화합니다. 포장 디자인은 크기와 라벨링을 맞춤화할 수 있으며, 보관 지침에 따라 설치 전에 재료 무결성을 유지하기 위해 깨끗하고 온도 조절이 가능한 환경에서 보관할 것을 권장합니다.
추가 정보
니오븀은 내식성이 뛰어나고 녹는점이 높아 고온 가공에 적합한 내화성 금속으로 잘 알려져 있습니다. 이러한 특성은 전자 및 반도체 장치의 박막 적용을 위한 스퍼터링 타겟을 생산할 때 필수적입니다. 증착 공정의 성능은 기판 및 타겟 순도와 밀접하게 연결되어 필름 균일성 및 공정 수율에 영향을 미칩니다.
재료 과학의 광범위한 맥락에서 니오븀의 기계적 및 열적 특성은 고급 코팅 및 표면 공학에서의 사용을 최적화하기 위해 광범위하게 연구되고 있습니다. 이러한 특성을 이해하면 산업 환경에서 처리 매개변수를 조정하고 전반적인 시스템 성능을 향상하는 데 도움이 됩니다.