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Stanford Advanced Materials
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ST11202 니켈 크롬 로터리 타겟, NiCr 타겟

카탈로그 번호. ST11202
구성 Ni, Cr
순도 ≥99.9% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 관형
치수 사용자 지정

니켈 크롬 로터리 타겟, NiCr 타겟은 스퍼터링 증착 공정에 최적화된 니켈-크롬 합금으로 제조됩니다. 회전식 설계는 증착 일관성을 유지하는 데 중요한 작동 중 균일한 침식을 용이하게 합니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 품질 관리 프로세스의 일부로 XRF 성분 분석과 초음파 검사를 활용합니다. SAM은 맞춤형 타겟 제작에 대한 기술 전문성을 바탕으로 각 제품이 첨단 박막 응용 분야의 특정 치수 및 구성 요건을 충족하도록 보장합니다.

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FAQ

로터리 설계가 스퍼터링 공정 중 에로젼 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

회전식 구성은 대상 물질의 고른 침식을 촉진하여 국부적인 핫스팟의 형성을 줄이고 장기간에 걸쳐 안정적인 증착 속도를 보장합니다. 이 설계는 기판에서 일관된 박막 특성을 달성하는 데 도움이 됩니다. 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

정확한 합금 조성을 유지하기 위해 어떤 품질 관리 절차가 시행되나요?

SAM은 합금 조성과 구조적 무결성을 확인하기 위해 X선 형광(XRF) 분석과 초음파 검사를 사용합니다. 이러한 조치를 통해 대상 재료가 스퍼터링 효율에 필요한 정확한 조성 표준을 준수하는지 확인합니다. 자세한 문의는 당사에 문의하세요.

다양한 스퍼터링 시스템에 맞게 타겟 치수를 맞춤 설정할 수 있습니까?

예, 타겟의 치수는 다양한 스퍼터링 시스템 구성에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 커스터마이징을 통해 다양한 증착 장비 및 공정 사양과 통합할 수 있습니다. 구체적인 요구 사항은 당사에 문의해 주세요.

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