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ST11204 니켈 니오븀 로터리 타겟, NiNb 타겟

카탈로그 번호.	ST11204
구성	Ni, Nb
순도	≥99.5% 이상 또는 사용자 지정
양식	Target
모양	관형
치수	사용자 지정

니켈 니오븀 로터리 타겟, NiNb 타겟은 스퍼터링 애플리케이션을 위해 설계된 니켈-니오븀 합금으로 생산됩니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)에서 제조한 이 타겟은 전자 현미경을 이용한 엄격한 화학 분석과 표면 품질 검사를 거쳐 합금의 균질성과 구조적 무결성을 검증합니다. SAM은 중요한 생산 단계에서 정량 계측법을 사용하여 치수 정확도와 재료 구성을 확인하여 타겟이 엄격한 공정 사양을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

니켈-니오븀 구성이 스퍼터링 성능에 어떤 영향을 미칩니까?

Ni-Nb 합금 조성은 타겟 침식 및 증착 균일성에 영향을 미칩니다. 잘 제어된 합금은 조성 변화를 최소화하여 장시간 작동 시에도 스퍼터링 수율이 일정하게 유지되도록 보장합니다. 상세한 재료 분석은 합금의 균질성을 검증하는 데 사용되며, 이는 균일한 박막 증착이 필요한 애플리케이션에 매우 중요합니다.

이러한 로터리 타겟에는 어떤 표면 준비 방법이 사용됩니까?

타겟은 일반적으로 정밀 가공 후 제어된 화학적 에칭과 표면 프로파일링을 거칩니다. 이러한 공정은 표면 거칠기를 줄이고 균일한 스퍼터링 수율을 달성하는 데 도움이 됩니다. 이후 현미경 분석을 통해 마감 처리가 필요한 엔지니어링 공차를 충족하는지 확인합니다.

맞춤형 치수가 스퍼터링 시스템과의 통합에 어떤 영향을 미칩니까?

맞춤형 치수를 통해 타겟을 특정 장비 클램핑 및 마운팅 구성에 맞출 수 있습니다. 이를 통해 작동 중 최적의 접촉과 효율적인 열 분배를 보장하여 일관된 증착률과 타겟 수명 연장을 지원합니다.

마지막 추천

https://www.samaterials.com/images/sc/1765954284-normal-NBN0059.jpg

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