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ST11207 납 지르코네이트 타이타네이트 타겟, PZT 타겟

카탈로그 번호. ST11207
구성 지르코네이트 티타네이트 납
순도 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 원형, 직사각형 등
치수 사용자 지정

납 지르코네이트 티타네이트 타겟, PZT 타겟은 산업 공정에서 박막 증착을 위해 제조된 Pb(Zr,Ti)O₃ 세라믹으로 구성된 스퍼터링 타겟입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 정량적 X-선 회절 분석과 표면 프로파일 측정법을 사용하여 재료 균일성과 위상 무결성을 평가합니다. SAM의 체계적인 접근 방식을 통해 각 타겟이 고급 스퍼터링 응용 분야에 대한 엄격한 조성 및 미세 구조 기준을 충족하는지 확인합니다.

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FAQ

맞춤형 치수는 스퍼터링 중 증착 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

맞춤형 치수를 사용하면 타겟-기판 거리를 최적화하고 플라즈마 분포를 균일하게 하여 필름 증착을 균일하게 할 수 있습니다. 치수를 조정하면 증착률의 균형을 맞추고 에지 효과를 완화할 수 있습니다. 특정 스퍼터링 시스템에서의 통합에 대한 자세한 내용은 당사에 문의하세요.

PZT 타겟의 미세 구조 무결성을 유지하기 위해 어떤 공정 제어가 사용되나요?

세부적인 제어 방법에는 X-선 회절 및 표면 프로파일 측정이 포함됩니다. 이러한 기술은 상 분포와 표면 마감을 모니터링하여 안정적인 필름 특성을 위해 생산 중에 타겟이 일관된 미세 구조를 유지하도록 보장합니다.

스퍼터링 증착 시 용융점을 고려할 때 열적 측면을 어떻게 관리해야 하나요?

구체적인 융점은 제공되지 않지만 열 관리는 매우 중요합니다. 여기에는 제어된 기판 온도를 유지하고 증착 중 국부적인 과열을 방지하기 위한 냉각 메커니즘을 통합하는 것이 포함됩니다. 자세한 열 관리 권장 사항은 문의하세요.

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