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ST11209 실리콘 스퍼터링 타겟, Si 타겟

카탈로그 번호. ST11209
구성 Si
순도 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 원형, 직사각형
치수 사용자 지정

실리콘 스퍼터링 타겟, Si 타겟은 물리적 기상 증착을 위해 생산되는 실리콘 금속 타겟입니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 생산 과정에서 표면 균일성을 모니터링하기 위해 확립된 화학 기상 증착 방식과 사내 전자 현미경을 적용합니다. SAM의 공정에는 박막 증착에 중요한 재료 사양을 유지하기 위한 정량적 결함 검사 및 보정된 밀도 측정이 포함됩니다. 이 타겟은 측정된 구성과 치수 정확도에 주의를 기울여 생산됩니다.

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리뷰

FAQ

맞춤형 치수 기능은 스퍼터링 응용 분야에서 박막 증착 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

맞춤형 치수를 통해 특정 타겟 크기가 필요한 장비 구성에 통합할 수 있어 박막 증착의 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 공정 요건에 맞게 조정하면 가장자리 효과를 최소화하고 일관된 필름 성장을 지원합니다. 자세한 통합 조언은 당사에 문의하세요.

실리콘 스퍼터링 타겟에서 일반적으로 관찰되는 재료 순도 사양은 무엇입니까?

고순도 실리콘은 증착된 필름의 오염 물질로 인한 변화를 줄이기 위해 사용됩니다. 생산 공정에는 실리콘이 반도체 공정에 필수적인 제어된 순도 수준을 충족하는지 확인하기 위한 정량 분석 테스트와 표면 검사가 포함됩니다.

실리콘 타겟을 다양한 스퍼터링 시스템 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니까?

예, 치수를 사용자 지정할 수 있습니다. 이를 통해 타겟을 다양한 챔버 형상과 증착 시스템에 맞출 수 있습니다. 타겟 크기를 조정하면 다양한 생산 설정에서 스퍼터링 효율과 필름 균일성을 최적화하는 데 도움이 됩니다.

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