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Stanford Advanced Materials
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ST11210 실리콘 카바이드 평면 타겟, SiC 타겟

카탈로그 번호. ST11210
구성 SiC
순도 ≥99.9% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 직사각형
치수 사용자 지정

실리콘 카바이드 평면 타겟, SiC 타겟은 고온에서 재료 안정성이 요구되는 스퍼터링 응용 분야를 위해 설계되었습니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 제어된 합성 공정과 주사 전자 현미경 검사를 활용하여 미세 구조 균일성 및 불순물 수준을 확인합니다. 타겟의 평면 형상과 맞춤형 치수는 스퍼터링 시스템으로의 통합을 용이하게 하여 세라믹 및 반도체 공정 환경에 대한 재료 일관성을 보장합니다.

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FAQ

실리콘 카바이드는 스퍼터링 타겟으로서 어떤 기술적 이점을 제공합니까?

탄화규소의 화학적 불활성 및 높은 융점은 안정적인 스퍼터링 동작을 지원합니다. 이러한 특성은 타겟 열화를 최소화하고 반도체 및 세라믹 응용 분야의 정밀한 제조 공정에 필수적인 균일한 필름 증착을 유지합니다.

맞춤형 치수는 스퍼터링 시스템에서 SiC 타겟의 통합에 어떤 영향을 미칩니까?

맞춤형 치수는 타겟이 다양한 스퍼터링 챔버 설계에 정확하게 맞도록 보장합니다. 이러한 맞춤형 맞춤은 에너지 분포와 증착 균일성을 최적화하여 공정 변동성을 줄이고 전반적인 스퍼터링 성능을 향상시킵니다.

SiC 타겟을 생산하는 동안 어떤 품질 관리 조치가 시행되나요?

품질 관리 조치에는 주사 전자 현미경(SEM) 검사 및 불순물 수준 분석이 포함됩니다. 이러한 방법은 미세 구조의 일관성과 표면 마감을 검증하여 타겟이 스퍼터링 증착 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

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