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ST11219 아연 평면 타겟, 아연 타겟

카탈로그 번호. ST11219
구성 Zn
순도 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 직사각형
치수 사용자 지정

아연 평면 타겟, 아연 타겟은 물리적 기상 증착 공정을 위한 스퍼터링 타겟으로 제조됩니다. 이 타겟은 분광 분석 및 표면 프로파일링과 같은 체계적인 재료 특성화 기술을 활용하여 조성 균일성을 모니터링하는 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)에서 생산합니다. SAM은 통제된 환경에서 엄격한 품질 프로토콜을 준수하여 불순물과 치수 편차를 최소화함으로써 증착 공정과 성능 결과의 일관성을 보장합니다.

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FAQ

타겟 순도는 스퍼터링 증착 결과에 어떤 영향을 미칩니까?

고순도는 증착 표면의 오염을 최소화하고 안정적인 필름 성장을 보장합니다. 예측 가능한 증착 속도와 필름 균일성을 달성하려면 제어된 순도 수준을 유지하는 것이 필수적입니다. 이는 마이크로일렉트로닉스 제조에서 정밀한 화학량론이 필요할 때 매우 중요합니다.

맞춤형 치수가 스퍼터링 성능에 미치는 영향은 무엇입니까?

맞춤형 치수를 통해 특정 스퍼터링 시스템과의 호환성을 맞춤화하여 타겟 정렬 및 증착 균일성을 최적화할 수 있습니다. 크기를 조정하면 에지 효과를 완화하고 공정 제어가 향상되며, 이는 기판 전체에서 일관된 레이어 두께를 달성하는 데 중요합니다.

타겟 처리 시 권장되는 환경 조건은 무엇인가요?

습도가 낮고 온도가 조절되는 깨끗한 환경에서 대상을 처리하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 산화를 최소화하고 표면 무결성을 유지할 수 있습니다. 추가 운영 지침이 필요하면 문의해 주세요.

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