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Stanford Advanced Materials
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ST11220 아연 로터리 타겟, Zn 타겟

카탈로그 번호. ST11220
구성 Zn
순도 ≥99.99% 또는 사용자 지정
양식 Target
모양 관형
치수 사용자 지정

아연 로터리 타겟, 아연 타겟은 스퍼터링 중 균일한 표면 침식을 달성하기 위해 제어된 로터리 처리 방법을 사용하여 생산됩니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 인라인 조성 검증 및 불순물 제어를 위해 광학 방출 분광법을 적용합니다. 이 접근 방식은 재료 변동을 최소화하고 엄격한 치수 일관성을 지원하여 타겟이 고성능 스퍼터링 공정의 특정 운영 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.

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리뷰

FAQ

타겟의 회전 설계가 필름 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

타겟의 회전은 표면의 고른 침식을 촉진하여 증착된 필름의 두께 변화를 줄입니다. 이 효과는 대형 기판에 균일한 코팅을 구현하는 데 필수적입니다. 자세한 작동 매개변수는 당사에 문의하세요.

생산 중 아연 순도를 확인하는 품질 관리 조치에는 어떤 것이 있나요?

생산 시 광학 방출 분광법과 X-선 형광 분석을 활용하여 원소 구성과 순도 수준을 확인합니다. 이러한 방법을 통해 아연이 스퍼터링 애플리케이션에 적합한 엄격한 재료 사양을 충족하는지 확인합니다.

타겟 치수를 다른 스퍼터링 시스템에 맞게 조정할 수 있습니까?

예, 다양한 장비 구성에 맞게 치수를 맞춤화할 수 있도록 설계되어 타겟의 성능 저하 없이 다양한 스퍼터링 설정에 쉽게 통합할 수 있습니다.

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