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Stanford Advanced Materials
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ST11462 알루미늄 구리 평면 타겟, AlCu 타겟

카탈로그 번호. ST11462
구성 AlCu
모양 직사각형
양식 Target
순도 Al+Cu: ≥99%

알루미늄 구리 평면 타겟, AlCu 타겟은 일관된 스퍼터링을 지원하는 균일한 평면 표면을 가진 물리적 기상 증착 공정을 위해 설계되었습니다. Stanford Advanced Materials(SAM)에서 제조한 이 제품은 표면 평탄도와 조성 일관성을 검증하기 위해 일상적인 광학 검사 및 치수 계측을 거칩니다. 이러한 측정은 SAM의 생산 공정에 통합되어 박막 증착을 제어하기 위한 정밀한 재료 특성을 유지합니다.

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FAQ

알루미늄 구리 평면 타겟과 호환되는 증착 방법은 무엇입니까?

이 타겟은 물리적 기상 증착 시스템에서 스퍼터링에 적합합니다. 타겟의 평면 형상은 균일한 플라즈마 분포를 지원하여 재료 침식을 균일하게 합니다. 특정 시스템 구성에 따라 전력 밀도 및 가스 압력 조정이 필요할 수 있습니다.

AlCu 구성이 목표 성능에 어떤 영향을 미치나요?

정의된 AlCu 합금 조성은 일관된 스퍼터링 속도와 안정적인 박막 특성을 보장합니다. 이러한 예측 가능성은 반도체 및 전자 제조에서 균일한 코팅 두께와 재현 가능한 증착 프로파일이 요구되는 공정에 매우 중요합니다.

이 대상에 권장되는 저장 조건은 무엇인가요?

타겟은 표면의 산화 및 오염을 방지하기 위해 건조하고 온도가 조절되는 환경에 보관해야 합니다. 설치 전까지 타겟을 원래의 밀봉된 포장에 보관하는 것이 좋습니다. 추가 설명이 필요한 경우 자세한 취급 절차에 대해 문의하세요.

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