ST11467 티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟

카탈로그 번호.	ST11467
구성	TiSi
모양	원형, 직사각형, 맞춤형
양식	Target
순도	Ti+Si: ≥99%

티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟은 박막 애플리케이션의 스퍼터링 공정을 위해 생산됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)에서 제조하는 이 제품은 SEM 이미징 및 레이저 프로파일 측정법을 사용하여 확인된 균일한 TiSi 조성을 특징으로 합니다. SAM은 엄격한 배치 테스트와 미세 분석을 통해 오염 물질을 최소화하고 일관된 재료 특성을 보장합니다. 제어된 공정 환경은 첨단 증착 기술에 필수적인 재현성을 지원합니다.

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설명

사양

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FAQ

이 타겟을 사용할 때 어떤 증착 프로세스 파라미터를 고려해야 하나요?

이 타겟을 사용한 스퍼터링 공정에서는 전력 밀도와 챔버 압력을 세심하게 제어해야 합니다. RF 또는 DC 전력의 조정은 필름 균일성과 화학량론에 영향을 미칩니다. 기판 온도를 모니터링하면 필름 접착력을 더욱 최적화할 수 있습니다.

타겟의 미세 구조는 어떻게 확인하나요?

타겟은 표면 균일성을 평가하고 잠재적 결함을 감지하기 위해 SEM 이미징과 레이저 프로파일 측정을 거칩니다. 이러한 검사는 스퍼터링 중 일관성을 유지하고 증착된 필름의 입자 오염을 줄이는 데 도움이 됩니다.

특정 스퍼터링 시스템 요구 사항에 맞게 타겟을 맞춤화할 수 있습니까?

예, 크기 및 가공 공차에 대한 사용자 지정 옵션을 사용할 수 있습니다. 이러한 매개변수를 조정하면 다양한 증착 시스템과의 호환성을 보장하고 공정 재현성을 지원합니다. 자세한 사용자 지정 옵션은 문의해 주세요.

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ST11467 티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟

티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟 설명

티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟 응용 분야

티타늄 실리콘 타겟, TiSi 타겟 포장

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이 타겟을 사용할 때 어떤 증착 프로세스 파라미터를 고려해야 하나요?

타겟의 미세 구조는 어떻게 확인하나요?

특정 스퍼터링 시스템 요구 사항에 맞게 타겟을 맞춤화할 수 있습니까?

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매개변수	값
구성	TiSi
모양	원형, 직사각형, 맞춤형
형태	타겟