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ST11470 니켈 코발트 철 평면 타겟, NiCoFe 타겟

카탈로그 번호. ST11470
구성 NiCoFe
모양 직사각형
양식 Target
순도 Ni+Co+Fe: ≥99%

니켈 코발트 철 평면 타겟, NiCoFe 타겟은 스퍼터링 증착 공정에 적합한 제어된 합금 조성을 사용하여 생산됩니다. Stanford Advanced Materials(SAM)는 X-선 회절 및 주사 전자 현미경과 같은 고급 표면 분석 기술을 활용하여 제조 전반에 걸쳐 재료의 균일성과 평탄도를 모니터링합니다. 이 접근 방식은 엄격한 공정 중 검사 프로토콜을 준수하여 결함을 최소화함으로써 필름 증착 애플리케이션을 위한 제어되고 균일한 타겟 표면을 보장합니다.

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FAQ

이 NiCoFe 타겟을 사용할 때 권장되는 증착 파라미터는 무엇인가요?

스퍼터링 시스템에 맞게 공정 전력과 가스 흐름을 조정합니다. 전력 밀도가 높을수록 증착 속도가 빨라지고 아르곤 압력을 제어하면 균일한 필름을 유지하는 데 도움이 됩니다. 맞춤형 공정 가이드라인은 당사에 문의하세요.

NiCoFe의 합금 구성은 필름 균일성에 어떤 영향을 미칩니까?

제어된 NiCoFe 조성은 증착 중에 균일한 이온 충격을 보장합니다. 이를 통해 일관된 미세 구조 특성을 가진 필름을 생산하여 오염 위험을 줄이고 필름의 균질성을 향상시킬 수 있습니다.

타겟이 표준 스퍼터링 장비와 호환됩니까?

예, NiCoFe 타겟의 평면 형상과 표준화된 치수는 일반적인 스퍼터링 시스템 설정과의 호환성을 보장합니다. 증착 결과를 최적화하기 위해 공정 조정이 필요할 수 있습니다.

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