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ST11478 탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟

카탈로그 번호. ST11478
구성 Li2CO3
모양 원형, 직사각형, 맞춤형
양식 Target
순도 ≥99%

탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟은 일관된 스퍼터링 성능을 달성하기 위해 밀도가 제어되고 결함이 최소화된 고순도 탄산리튬을 사용하여 생산됩니다. 스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈(Stanford Advanced Materials, SAM)는 XRD 및 SEM 분석과 같은 엄격한 자체 특성화 방법을 사용하여 미세 구조 균일성과 표면 품질을 모니터링합니다. 이 철저한 검사 프로세스는 전자 및 세라믹 애플리케이션에서 정밀한 박막 증착을 위해 불순물을 최소화하고 공정 일관성을 보장합니다.

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FAQ

Li2CO3의 순도는 스퍼터링 공정에 어떤 영향을 미칩니까?

고순도 Li2CO3는 증착 시 오염 물질을 최소화하여 균일한 필름 두께와 제어된 전기적 특성을 달성하는 데 도움이 됩니다. 이는 필름 성능의 일관성이 중요한 애플리케이션에 필수적입니다.

Li2CO3 스퍼터링 타겟을 사용할 때 어떤 작동 파라미터를 모니터링해야 합니까?

스퍼터링 파워, 챔버 압력, 기판 온도를 관리하는 것이 중요합니다. 이러한 매개변수는 필름 접착력, 균일성 및 전반적인 증착 효율에 영향을 미칩니다. 이러한 조건을 미세 조정하면 필름 품질을 향상시킬 수 있습니다.

타겟을 반도체 제조에서 박막 증착에 사용할 수 있나요?

예, 이 타겟은 반도체 애플리케이션의 박막 증착에 적합합니다. 제어된 구성과 구조는 재현 가능한 전기적 및 기계적 특성을 가진 필름을 생산하는 데 도움이 됩니다. 구체적인 공정 조정에 대해서는 기술 상담을 권장합니다.

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