탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟 설명
탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟은 소결된 탄산리튬을 사용하여 조밀하고 균일한 구조를 달성하기 위해 제조됩니다. 고순도 Li2CO3가 특징인 이 타겟의 구성은 얇고 균일한 필름을 증착하는 데 필요한 재현 가능한 스퍼터링 조건을 지원합니다. 타겟의 제어된 미세 구조는 미립자 발생을 최소화하여 반도체 및 세라믹 필름 형성 공정에서 안정적인 공정 파라미터를 보장합니다.
탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟 응용 분야
1.전자
- 순도와 밀도를 활용하여 일관된 필름 전도성을 달성하기 위해 배터리 부품 제조에서 Li2CO3 박막의 소스로 사용됩니다.
- 반도체 소자 코팅에 적용하여 표면 균일성을 높이고 집적 회로의 성능을 향상시킵니다.
2.세라믹 공정
- 세라믹 코팅의 증착 타겟으로 사용되어 미세 구조가 제어된 필름을 생산하여 결함을 줄이고 절연 특성을 개선합니다.
- 전도성 세라믹을 제조할 때 필름 두께와 구성 무결성을 관리하기 위해 사용됩니다.
3.광전자 장치
- 정밀한 필름 균일성이 중요한 투명 전도성 필름 제조에 활용되어 증착 속도를 제어함으로써 광학 선명도 문제를 해결합니다.
- 디스플레이 기술에서 스퍼터링 소스로 적용되어 필름의 일관성과 작동 안정성을 향상시킵니다.
탄산리튬 스퍼터링 타겟 Li2CO3 타겟 포장
타겟은 운송 중 미립자 오염과 기계적 손상을 최소화하기 위해 깨끗한 정전기 방지 용기에 포장됩니다. 충격 흡수와 내습성을 위해 보호 폼 인서트와 밀봉 폴리에틸렌 백을 사용합니다. 보관 지침은 건조하고 온도가 조절되는 환경을 권장합니다. 특정 취급 또는 통합 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 포장 옵션을 사용할 수 있으므로 대상이 사용할 때까지 안정적으로 유지됩니다.
추가 정보
탄산리튬은 타겟 형태로 소결할 때 열 안정성과 화학적 불활성으로 인해 다양한 증착 공정에서 중요한 전구체 역할을 합니다. 고순도 조성 및 제어된 미세 구조와 같은 재료의 특성은 첨단 전자 및 세라믹 응용 분야에 필요한 균일한 박막을 달성하는 데 중추적인 역할을 합니다.
스퍼터링 타겟에 대한 연구는 불순물을 최소화하고 소결 공정을 최적화하는 데 계속 집중하고 있습니다. 이러한 발전은 보다 안정적인 증착 환경에 기여하여 박막 성능의 변동성을 줄이고 점점 더 정교해지는 박막 기술 개발을 지원합니다.