단종 MF5928 (단종) 1200도C 3구역 석영관로 노 OTF-1200X-III-80-F3LV

카탈로그 번호.	MF5928
항목 번호	OTF-1200X-III-80-F3LV
작동 온도	연속 ≤1100℃

단종

1200C 삼존 석영관로 노후 OTF-1200X-III-80-F3LV는 기계식 진공 펌프, 디지털 진공 게이지 및 삼채널 기체 흐름 시스템이 장착된 분리 가능한 삼존 관로 노후입니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 다중 존 노후 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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노 구조	공기 냉각이 있는 이중 강판 케이스 고순도 알루미나 섬유 단열재 분리형 덮개 디자인
전력	5KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속) 가열 속도: ≤20℃/분 온도 정확도: ±1.0℃
가열 구역 길이	세 구역: (880mm, 총 35인치) 구역 1: 220mm (8.6") 구역 2: 440mm (17.3") 구역 3: 220mm (8.6")
상수 온도 구역	세 구역을 동일 온도로 설정한 경우, 상수 온도 구역은 길이 25인치(625mm)로 온도 차이는 ± 1°C입니다. 구역 하나(중앙 구역)만 사용하는 경우, 상수 온도 구역은 4.3인치(110mm)로 온도 차이는 ± 1°C입니다.
가열 요소	모를 첨가한 Fe-Cr-Al 합금
온도 조절기	세 구역을 각각 제어할 수 있는 정밀 온도 조절기 세 개 가열 속도, 냉각 속도 및 체류 시간을 정밀하게 제어하기 위한 PID 자동 제어 및 30개 프로그래머블 세그먼트 과열 및 고장된 열전대 보호 기능 내장 운전자가 필요 없는 과온도 보호 및 경고 시스템 ± 1℃ 온도 정확도 RS485 통신 포트
진공 센서 및 디스플레이	부식에 강한 용량 다이어프램 게이지로, 부식성 가스에서의 진공 측정에 적합하여 세라믹 코팅 센서 헤드 포함 게이지는 튜브 노의 진공 플랜지에 설치되어 넓은 측정 범위(10^-5 ~ 1000 torr)를 제공합니다.
석영 튜브 및 밀봉 플랜지	80 mm O.D x 72 mm ID. x 1400 mm의 융합 석영 튜브 포함. 진공 플랜지, 밸브 및 압력 게이지 포함.
샘플 홀더가 있는 슬라이딩 플랜지	샘플 전송을 위한 슬라이드(수동 작동)가 옵션으로 제공되며 추가 비용은 $1900입니다.
진공 밀봉 플랜지	진공 게이지와 밸브가 포함된 스테인리스 스틸 플랜지 두 개 포함. 기계식 펌프에 의해 달성되는 최소 진공 압력은 5.5 m-torr (5.5x10^-3 torr)입니다. 기계식 + 분자 펌프를 사용하면 압력이 10^-5 torr에 도달할 수 있습니다. 누설률은 < 5 m-torr / 분이며, 24시간 후 안정된 진공 압력은 < 2 torr입니다.
산소 모니터링	산소 센서는 CVD 시스템에서 사용된 가스의 산소 수준을 모니터링하여 산화 방지 또는 감소에 사용될 수 있습니다.
진공 펌프	최대 진공 압력이 10^-2torr인 120 L/m 로터리 베인 진공 펌프가 포함되어 있으며, 튜브 노 연결을 위한 스테인리스 스틸 호스 튜브가 포함되어 있습니다.
가스 흐름 측정기 및 압력 측정기	세 가지 서로 다른 가스의 흐름 속도를 모니터링할 수 있도록 이동식 케이스 안에 세 개의 가스 흐름 측정기(정확도 4% FS)가 설치되어 있습니다. 콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 10-100 cc/min. 콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 16-160 cc/min. 콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 25-250 cc/min. 세 가지 흐르는 가스 압력과 혼합 탱크 압력을 모니터링할 수 있는 네 개의 압력계가 이동식 카트에 설치되어 있습니다.
배송 무게	850 lbs
밸브	세 가지 유입 가스를 각각 혼합하기 위해 이동식 카트의 측면 패널에 네 개의 스테인리스 스틸 밸브가 설치되어 있습니다.
치수	노: 1100 X 450 x 670 mm 하부 이동식 케이스: 600 x 600 x 597 mm
보증	1년 제한 제조사 보증.
경고 및 주의사항	튜브 노 내부의 정확한 온도를 얻으려면 온도를 스스로 보정해야 합니다. 알루미나 튜브를 가진 튜브 노는 진공 및 저압 < 0.2 bar / 3 PSI / 0.02 MPa에서 사용하도록 설계되었습니다. 가스의 흐름 속도는 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다. 주의: 안전한 작동을 위해 기체 실린더에 두 단계 압력 조절기를 설치하여 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다. 모든 석영 튜브 노의 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1000℃까지 안전하게 사용할 수 있습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다.

가열로 구조	이중 레이어 강철 케이스와 공기 냉각 고순도 알루미나 섬유 단열재 분리 가능한 커버 디자인
전원	5KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속) 가열 속도: ≤20℃/분 온도 정확도: ±1.0℃
가열 구역 길이	세 구역: (880mm, 총 35") 구역 1: 220mm (8.6") 구역 2: 440mm (17.3") 구역 3: 220mm (8.6")
상온 구역	세 구역이 동일 온도로 설정될 경우, 상온 구역은 25" (625 mm) 길이이며 온도 차이는 ±1℃입니다. 하나의 구역(중앙 구역)만 사용할 경우, 상온 구역은 4.3" (110 mm) 길이이며 온도 차이는 ±1℃입니다.
가열 요소	Mo가 도핑된 Fe-Cr-Al 합금
온도 조절기	세 개의 정밀 온도 조절기로 개별 구역 제어 PID 자동 제어 및 30개의 프로그램 가능한 구간으로 가열 속도, 냉각 속도 및 체류 시간을 정밀하게 제어 내장된 과열 및 단선 열전대 보호 과온도 보호 및 경고 기능으로 무인 작동 가능 ±1℃ 온도 정확도 RS485 통신 포트
진공 센서 및 디스플레이	부식 방지 커패시턴스 다이아프램 게이지, 부식성 가스가 존재하는 진공 측정에 특별히 설계된 세라믹 코팅 센서 헤드 게이지는 튜브 가열로의 진공 플랜지에 설치되어 있으며 넓은 측정 범위(10^-5 ~ 1000 torr)를 제공
쿼츠 튜브 및 밀봉 플랜지	80 mm O.D x 72 mm ID. x 1400 mm 융합 쿼츠 튜브 포함. 밸브와 압력 게이지가 포함된 진공 플랜지 포함.
샘플 홀더가 있는 슬라이딩 플랜지	샘플 전송을 위한 슬라이드(수동 작동)가 옵션으로 제공되며 추가 비용은 $1900입니다.
진공 밀봉 플랜지	진공 게이지와 밸브가 포함된 두 개의 스테인리스 스틸 플랜지 포함. 기계 펌프에 의해 달성되는 최저 진공 압력은 5.5 m-torr. (5.5x10^-3 torr). 기계 + 분자 펌프를 사용할 경우 압력은 10^-5 torr에 도달할 수 있습니다. 유출률은 < 5 m-torr / 분이며 24시간 후 안정적인 진공 압력은 < 2 torr입니다.
산소 모니터링	CVD 시스템에서 산화 방지 또는 감소를 위한 가스의 산소 수준을 모니터링하기 위해 산소 센서를 사용할 수 있습니다.
진공 펌프	최대 진공 압력이 10^-2torr인 120 L/m 회전 베인 진공 펌프가 포함되어 있으며, 튜브 가열로와 연결할 수 있는 스테인리스 스틸 호스 튜브가 포함되어 있습니다.
가스 유량계 및 압력계	세 가지 다른 가스의 유량을 모니터링할 수 있도록 이동식 케이스 내부에 설치된 세 개의 가스 유량계 (4% 정확도 FS). 콤팩트 직접 읽기 유량계, 10-100 cc/min. 콤팩트 직접 읽기 유량계, 16-160 cc/min. 콤팩트 직접 읽기 유량계, 25-250 cc/min. 세 가지 흐르는 가스 압력 및 혼합 탱크 압력을 모니터링할 수 있는 네 개의 압력계가 이동식 캐리어 내부에 설치되어 있습니다.
배송 무게	850 파운드
밸브	세 개의 유입 가스를 별도로 혼합하기 위해 이동식 카트의 측면 패널에 설치된 네 개의 스테인리스 스틸 밸브
치수	가열로: 1100 X 450 x 670 mm 하부 이동식 케이스: 600 x 600 x 597 mm
보증	제한적인 1년 제조사 보증.
경고 및 주의 사항	튜브 가열로 내부의 정확한 온도를 얻으려면 온도를 직접 보정해야 합니다. 알루미나 튜브가 있는 튜브 가열로는 진공 및 저압 < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa에서 사용하도록 설계되었습니다. 가스의 유량은 튜브에 대한 열 충격 감소를 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다. 주의: 안전한 작동을 위해 가스 실린더에 두 단계 압력 조절기를 설치해야 하며 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다. 모든 쿼츠 튜브 가열로의 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1000℃ 이하에서만 안전하게 사용할 수 있습니다.
인증	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공 가능합니다.

단종 MF5928 (단종) 1200도C 3구역 석영관로 노 OTF-1200X-III-80-F3LV

단종

1200C 삼중 구역 석영 튜브 노 OTF-1200X-III-80-F3LV 설명

1200C 삼중 구역 석영 튜브 노 OTF-1200X-III-80-F3LV 사양

1200C 삼중 구역 석영 튜브 노 OTF-1200X-III-80-F3LV 응용

1200C 삼중 구역 석영 튜브 노 OTF-1200X-III-80-F3LV 포장

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