단종 MF5928 (단종) 1200도C 3구역 석영관로 노 OTF-1200X-III-80-F3LV

노 구조

• 공기 냉각이 있는 이중 강판 케이스
• 고순도 알루미나 섬유 단열재
• 분리형 덮개 디자인

전력

5KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz

작동 온도

• 최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속)
• 가열 속도: ≤20℃/분
• 온도 정확도: ±1.0℃

가열 구역 길이

• 세 구역: (880mm, 총 35인치)

구역 1: 220mm (8.6")

구역 2: 440mm (17.3")

구역 3: 220mm (8.6")

상수 온도 구역

• 세 구역을 동일 온도로 설정한 경우, 상수 온도 구역은 길이 25인치(625mm)로 온도 차이는 ± 1°C입니다.
• 구역 하나(중앙 구역)만 사용하는 경우, 상수 온도 구역은 4.3인치(110mm)로 온도 차이는 ± 1°C입니다.

가열 요소

모를 첨가한 Fe-Cr-Al 합금

온도 조절기

• 세 구역을 각각 제어할 수 있는 정밀 온도 조절기 세 개
• 가열 속도, 냉각 속도 및 체류 시간을 정밀하게 제어하기 위한 PID 자동 제어 및 30개 프로그래머블 세그먼트
• 과열 및 고장된 열전대 보호 기능 내장
• 운전자가 필요 없는 과온도 보호 및 경고 시스템
• ± 1℃ 온도 정확도
• RS485 통신 포트

진공 센서 및 디스플레이

• 부식에 강한 용량 다이어프램 게이지로, 부식성 가스에서의 진공 측정에 적합하여 세라믹 코팅 센서 헤드 포함
• 게이지는 튜브 노의 진공 플랜지에 설치되어 넓은 측정 범위(10^-5 ~ 1000 torr)를 제공합니다.

석영 튜브 및 밀봉 플랜지

• 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1400 mm의 융합 석영 튜브 포함.
• 진공 플랜지, 밸브 및 압력 게이지 포함.

샘플 홀더가 있는 슬라이딩 플랜지

샘플 전송을 위한 슬라이드(수동 작동)가 옵션으로 제공되며 추가 비용은 $1900입니다.

진공 밀봉 플랜지

• 진공 게이지와 밸브가 포함된 스테인리스 스틸 플랜지 두 개 포함.
• 기계식 펌프에 의해 달성되는 최소 진공 압력은 5.5 m-torr (5.5x10^-3 torr)입니다. 기계식 + 분자 펌프를 사용하면 압력이 10^-5 torr에 도달할 수 있습니다.
• 누설률은 < 5 m-torr / 분이며, 24시간 후 안정된 진공 압력은 < 2 torr입니다.

산소 모니터링

산소 센서는 CVD 시스템에서 사용된 가스의 산소 수준을 모니터링하여 산화 방지 또는 감소에 사용될 수 있습니다.

진공 펌프

최대 진공 압력이 10^-2torr인 120 L/m 로터리 베인 진공 펌프가 포함되어 있으며, 튜브 노 연결을 위한 스테인리스 스틸 호스 튜브가 포함되어 있습니다.

가스 흐름 측정기 및 압력 측정기

• 세 가지 서로 다른 가스의 흐름 속도를 모니터링할 수 있도록 이동식 케이스 안에 세 개의 가스 흐름 측정기(정확도 4% FS)가 설치되어 있습니다.

콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 10-100 cc/min.

콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 16-160 cc/min.

콤팩트 직접 읽기 흐름 측정기, 25-250 cc/min.

• 세 가지 흐르는 가스 압력과 혼합 탱크 압력을 모니터링할 수 있는 네 개의 압력계가 이동식 카트에 설치되어 있습니다.

배송 무게

 850 lbs

밸브

세 가지 유입 가스를 각각 혼합하기 위해 이동식 카트의 측면 패널에 네 개의 스테인리스 스틸 밸브가 설치되어 있습니다.

치수

• 노: 1100 X 450 x 670 mm
• 하부 이동식 케이스: 600 x 600 x 597 mm

보증

1년 제한 제조사 보증.

경고 및 주의사항

• 튜브 노 내부의 정확한 온도를 얻으려면 온도를 스스로 보정해야 합니다.
• 알루미나 튜브를 가진 튜브 노는 진공 및 저압 < 0.2 bar / 3 PSI / 0.02 MPa에서 사용하도록 설계되었습니다.
• 가스의 흐름 속도는 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다.
• 주의: 안전한 작동을 위해 기체 실린더에 두 단계 압력 조절기를 설치하여 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다.
• 모든 석영 튜브 노의 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1000℃까지 안전하게 사용할 수 있습니다.

인증

• CE 인증
• NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용으로 제공됩니다.