단종 MF5930 (단종) 1200C 3구역 튜브로 가열로 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD

카탈로그 번호.	MF5930
항목 번호	OTF-1200X-III-HVC-LD
작동 온도	연속 ≤1100℃

단종

1200C Three Zones Tube Furnace for CVD OTF-1200X-III-HVC-LD는 OTF-1200X 시리즈 튜브 용광로, 정밀 질량 흐름 가스 제어 스테이션, 고진공 스테이션 및 기타 필수 구성 요소로 구성되어 있습니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 튜브 용광로 제조 및 공급에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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가마 구조	공기 냉각이 있는 이중 강철 케이스. 온도가 55℃를 초과할 때 자동으로 냉각이 작동하도록 제어하는 내장 온도 조절기.
처리 튜브	재질: 융합 석영 튜브 가마와 함께 하나의 처리 튜브가 포함되어 있습니다.
전력	7KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속) 가열 속도: ≤20℃/분 온도 정확도: ±1.0℃
가열 구역 길이	총 가열 구역: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
가열 요소	Mo로 도핑된 Fe-Cr-Al 합금
온도 조절기	세 개의 정밀 온도 조절기가 각각 세 구역을 개별적으로 제어합니다. 30단계 프로그래밍 가능한 PID 자동 제어. 온도 정확도: ±1°C 온도 측정 센서: 가마 내부에 내장된 K형 열전대
진공 밀폐	다음과 함께 제공되는 스테인리스 스틸 진공 플랜지 한 쌍: 기계 압력 게이지 1개 바늘 밸브 2개 고진공 스테이션용 KF-40 커넥터 1개
치수	1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
정격 전압	208-240VAC, 단상, 50/60Hz

구조	이동식 카트 크기: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 최대 하중: 위쪽 600 파운드 분자 펌프 제어 패널: LCD 디지털 내부: 진공 펌프
부피 유량 속도	질소 N2: 33 L/s 헬륨 He: 39 L/s (2340L/minute) 수소 H2: 32 L/s
작동 범위	1000 mbar에서 <1E-7 mbar까지
궁극적인 압력	<1E-8 mbar (누출 없음)
전압 및 전력	110VAC 또는 220VAC, 110W

배송 치수	총 세 개의 팔레트: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
배송 중량	850 파운드
보증	일 년의 제한 보증 (소모성 부품인 처리 튜브, O-링 및 가열 요소는 보증 범위에 포함되지 않으므로, 아래 관련 제품에서 교체품을 주문하시기 바랍니다.)
준수	CE 인증 NRTL 또는 CSA 인증은 추가 비용이 발생합니다.
경고	석영 튜브가 있는 튜브 가마는 진공 및 저압(< 0.2bar / 3psi)에서 사용하도록 설계되었습니다. 주의: 안전한 작동을 위해 가스 실린더에 3 PSI 이하로 압력을 제한하는 이단계 압력 조절기가 설치되어야 합니다. 가스의 유량은 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다. 모든 석영 튜브 가마의 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1000℃까지 안전하게 사용할 수 있습니다.

용광로 구조	공기 냉각이 되는 이중층 강철 케이스. 상자 온도가 55도C를 초과하면 자동으로 냉각이 작동하는 내장된 온도 조절기.
처리 튜브	재질: 융합 석영 튜브 용광로와 함께 하나의 처리 튜브가 포함되어 있습니다.
전력	7KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200도C (1시간); 1100도C (연속) 가열 속도: ≤20도C/분 온도 정확도: ±1.0도C
가열 구역 길이	총 가열 구역: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
가열 요소	Mo로 도금된 Fe-Cr-Al 합금
온도 조절기	세 개의 정밀 온도 조절 장치가 세 가지 구역을 개별적으로 제어합니다. 30단계 프로그래밍 가능한 구간의 PID 자동 제어. 온도 정확도: ±1도C 내부에 내장된 K형 열전대
진공 밀봉	스테인레스 스틸 진공 플랜지 한 쌍 포함: 하나의 기계식 압력 게이지 두 개의 니들 밸브 고진공 스테이션용 KF-40 커넥터 하나
치수	1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
정격 전압	208-240VAC, 단상, 50/60Hz

구조	이동식 카트 크기: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 최대 적재: 상단에 600 lbs 분자 펌프 제어 패널: LCD 디지털 내부: 진공 펌프
체적 유량	질소 N2: 33 L/s 헬륨 He: 39 L/s (2340L/분) 수소 H2: 32 L/s
작동 범위	1000 mbar에서 <1E-7 mbar까지
최고 압력	<1E-8 mbar (누기 없이)
전압 및 전력	110VAC 또는 220VAC, 110W

단종 MF5930 (단종) 1200C 3구역 튜브로 가열로 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD

단종

1200C 3구역 튜브 가마 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD 설명

1200C 3구역 튜브 가마 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD 사양

1200C 3구역 튜브 가마 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD 응용 분야

1200C 3구역 튜브 가마 CVD OTF-1200X-III-HVC-LD 포장

사양

Sds

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