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MF5931 (단종) 1200C 3구역 튜브 용광로 및 CVD OTF-1200X-4-III-9HV용 진공 펌프

단종 MF5931 (단종) 1200C 3구역 튜브 용광로 및 CVD OTF-1200X-4-III-9HV용 진공 펌프

카탈로그 번호.	MF5931
항목 번호	OTF-1200X-4-III-9HV
작동 온도	연속 ≤1100℃
치수	100mm O.D. x 92mm ID. x 1400mm

단종

1200C 3구역 관로 가열로 및 진공 펌프 CVD OTF-1200X-4-III-9HV는 4인치 직경의 CE 인증을 받은 분할형 3구역 관로 가열로로, 고급 열 처리에 적합합니다. Stanford Advanced Materials (SAM)는 고품질 관로 가열로의 제조 및 공급에 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

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1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV 설명

1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV는 고급 열처리를 위해 설계된 CE 인증 분할 세 가지 존 튜브 용광로입니다. 이 용광로는 최대 10^-4 torr에 도달할 수 있는 진공 펌프 시스템과 9채널 PLC 터치 패널을 갖춘 정밀 디지털 질량 유량계 가스 제어 시스템을 특징으로 합니다. 이 시스템은 최대 9종의 가스를 제어할 수 있어 화학 기상 증착(CVD) 및 확산 공정에 적합합니다.

1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV 사양

OTF-1200X 시리즈 튜브 용광로

용광로 구조	공기 냉각이 있는 이중층 강철 케이스. 에너지 비용 효율적인 운영을 위한 고순도 알루미늄 섬유 판넬 라이너. 세 개의 독립 온도 조절기가 있는 세 가지 가열 존. 진공 및 가스 혼합 시스템은 바닥 이동식 카트에 위치, 4개의 바퀴가 장착되어 있습니다.
가열 요소	Mo가 도핑된 Fe-Cr-Al 합금
전력	7KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속) 가열 속도: ≤20℃/분 온도 정확도: ±1.0℃
가열 존 길이	세 가지 존: (880mm, 총 35") 존 1: 220 mm + 존 2: 440 mm + 존 3: 220 mm
상수 온도 존	20" (500 mm) 길이
온도 조절기	각 가열 존을 개별적으로 제어하는 30구간 프로그래머블 정밀 디지털 온도 조절기 세 개. 온도 안정성을 보장하기 위해 자동 조정 기능이 있는 PID 조정 가능. 온도 초과 및 열전대 손실에 대한 완전 보호.
튜브 크기 및 재료	융합 석영 튜브 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
열전대	세 개의 K형 열전대

고진공 스테이션

진공 장비	표준 진공 액세서리에는 다음이 포함됩니다: 두 개의 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 KF-25 펌프 커넥터, 두 개의 니들 밸브 및 하나의 1/4" 스웨겔락 튜브 커넥터. 300℃ 이하에서 사용 가능한 고온 실리콘 O링 여섯 개. 열 방사로부터 플랜지를 보호하기 위한 두 쌍의 알루미나 열 블록이 포함됩니다. 하나의 KF-40 진공 벨로우즈 세 개의 KF-40 퀵 클램프. 두 개의 KF-25 퀵 클램프.
구조	이동식 카트 크기: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 최대 적재: 600 Lbs 분자 펌프 제어 패널: LCD 디지털 내부: 진공 펌프
진공 센서	진공 센서에는 KF-25 커넥터가 있습니다. 고진공 게이지(측정 범위 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
정격 전압	AC 208-240V, 단상, 50/60Hz
제어 패널	한 버튼 작동 - "시작" 버튼을 누르면 다이어프램 펌프와 터보 분자 펌프가 시작됩니다. 시스템 제어 스피닝 속도 - 컨트롤러는 진공 수준과 반응 챔버의 누출률에 따라 터빈 스핀의 속도를 제어합니다. 자기 보호 - 시스템은 반응 챔버의 누출률이 너무 높아 고진공을 달성할 수 없을 때 펌프를 과열 및 과전류로부터 보호합니다. LCD 화면 - 이중 라인 매개변수 확인 인터페이스로 작업을 더 쉽게 처리합니다.
체적 유량	질소 N2 33 L/s 헬륨 He 39 L/s (2340L/minute) 수소 H2 32 L/s
작동 범위	1000 mbar부터 <1E-7 mbar까지
궁극적 압력	10^-5 torr (튜브 용광로와 함께)
전력 입력	110V AC 또는 220V AC 전환 가능, 50/60Hz
전력 소모	지속/최대 전력: 100/110 와트

질량 유량 조절기

9개의 정밀 질량 유량 조절기가 하단 이동식 카트에 장착되어 있으며, 디지털 디스플레이 패널은 +/-1.5%의 전체 범위를 보여줍니다.

조절기 1: 0~100 SCCM
조절기 2: 1~199 SCCM
조절기 3: 1~199 SCCM
조절기 4: 1~499 SCCM
조절기 5-9: 요청 시 측정 범위 사용자 정의 가능

기타 부품

가스 파이프 연결	하단 플랜지에 가스 인렛으로 설치된 1/4“ 튜브 연결이 있습니다. 각 MFC 스테이션에는 네 개의 1/4" 스웨겔락 튜브 연결과 각 가스 경로에 대한 네 개의 온/오프 밸브가 있습니다. 다섯 번째는 가스 아울렛으로 사용됩니다. 1/4" PTFE 가스 파이프는 표준 패키지에 포함되어 있습니다.
배송 정보	치수	용광로: 550 x 380 x 520mm MFC 스테이션: 600 x 600 x 700mm HV 스테이션: 600 x 600 x 700mm
	무게	순 중량: 100kg 배송 중량: 350 lb (두 팔레트)
보증	1년 한정 보증(소모성 부품인 처리 튜브, O링 및 가열 요소는 보증에 포함되지 않으며, 아래 관련 제품에서 교체 주문을 하십시오.)
준수	CE/UL/CSA 인증 옵션 바에서 인증을 선택하십시오: CE 인증 및 UL/CSA 준비가 추가 비용으로 UL/CSA 인증을 통과하도록 준비됩니다. UL 인증 - UL 승인(UL 61010)
경고	쿼츠 튜브가 장착된 튜브 용광로는 진공 및 저압 < 0.12 MPa(절대 압력)에서 사용하도록 설계되었습니다. 주의: 안전한 작동을 위해 가스 실린더에 설치된 이단계 압력 조절기가 반드시 3 PSI 이하로 압력을 제한해야 합니다. 가스의 유량은 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다. 모든 쿼츠 튜브 용광로에 대한 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1000℃까지 안전하게 사용됩니다.

1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV 응용

화학 기상 증착(CVD):

기판에 얇은 필름과 코팅을 증착합니다.
반도체 장치 및 태양광 셀 생산에 사용됩니다.

확산 공정:

고체 내에서 원자 또는 분자의 이동을 촉진합니다.
반도체 재료 개발 및 가공에 필수적입니다.

진공 하의 열 처리:

제어된 진공 환경에서 어닐링, 소결 및 기타 열 처리를 가능하게 합니다.
오염 및 산화를 줄여 재료 특성을 향상시킵니다.

차폐 가스 보호:

비활성 또는 환원 대기가 필요한 실험을 허용합니다.
처리 중 산화 및 기타 대기 상호 작용으로부터 샘플을 보호합니다.

1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV 포장

저희 1200C 세 가지 존 튜브 용광로와 CVD용 진공 펌프 OTF-1200X-4-III-9HV 는 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 보관 및 운송 과정에서 신중하게 처리됩니다.

사양

OTF-1200X 시리즈 튜브 로스트

로스트 구조	에어 쿨링이 있는 이중 강철 케이스. 에너지 비용 효과적인 작동을 위한 고순도 알루미나 섬유판 라이너. 세 개의 독립 온도 조절기가 있는 세 개의 가열 구역. 하단에 위치한 진공 및 가스 혼합 시스템, 4개의 바퀴가 있는 이동식 카트.
가열 요소	Mo가 도핑된 Fe-Cr-Al 합금
전력	7KW, 208-240VAC, 단상, 50/60Hz
작동 온도	최대 온도: 1200℃ (1시간); 1100℃ (연속) 가열 속도: ≤20℃/분 온도 정확도: ±1.0℃
가열 구역 길이	세 구역: (880mm, 35" 총 길이) 구역 1: 220 mm + 구역 2: 440 mm + 구역 3: 220 mm
상수 온도 구역	20" (500 mm) 길이
온도 조절기	각 가열 구역을 별도로 제어하는 30섹션의 세 개의 프로그래밍 가능한 정밀 디지털 온도 조절기. PDI 조절 가능하며 온도 안정성을 위해 자동 조정 기능이 있는 범위 ±1℃ 각 조절기에 대한 과온도 및 열 전극 손상 방지를 위한 전체 보호.
튜브 크기 및 재료	융합된 석영 튜브 100 mm 외경 x 92 mm 내경 x 1400 mm
열전대	세 개의 K형 열전대

고진공 스테이션

진공 장비	기본 진공 액세서리에는 다음이 포함됩니다: 두 개의 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 KF-25 펌프 연결기, 두 개의 니들 밸브, 하나의 1/4" 스웨이지록 튜브 연결기. 300도 이하에서 사용하기 위한 고온 실리콘 O-링 6개. 열 복사를 방지하기 위한 알루미나 열 차단 블록 두 쌍이 포함됩니다. 하나의 KF-40 진공 벨로우즈. 세 개의 KF-40 퀵 클램프. 두 개의 KF-25 퀵 클램프.
구조	이동식 카트 크기: 600 (L) x 600 (W) x 700(H) mm 최대 적재: 600 파운드 분자 펌프 제어 패널: LCD 디지털 내부: 진공 펌프
진공 센서	진공 센서는 KF-25 연결기가 있어야 합니다. 고진공 게이지(측정 범위 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
정격 전압	AC 208-240V, 단상, 50/60Hz
제어 패널	버튼 하나로 작동 - "시작" 버튼을 누르면 다이어프램 펌프와 터보 분자 펌프가 작동합니다. 시스템 제어 회전 속도 - 제어기는 진공 수준과 반응실의 누출 비율에 따라 터빈 회전 속도를 제어합니다. 자체 보호 - 시스템은 진공을 달성하기 위해 누출 비율이 너무 높은 경우 펌프를 과열 및 과전류로부터 보호합니다. LCD 화면 - 더블 라인 매개변수 확인 인터페이스로 작업을 쉽게 처리할 수 있습니다.
부피 흐름률	질소 N2 33 L/s 헬륨 He 39 L/s (2340L/minute) 수소 H2 32 L/s
작동 범위	1000 mbar에서 <1E-7 mbar까지
최종 압력	10^-5 토르 (튜브 로스트와 함께)
전력 입력	110V AC 또는 220V AC 전환 가능, 50/60Hz
전력 소비	지속/최대 전력: 100/110 와트

질량 유량 조절기

디지털 디스플레이 패널과 함께 이동식 카트 하단에 9개의 정밀 질량 유량 미터 조절기가 설치되어 있습니다. 전체 범위의 ±1.5%

조절기 1: 0~100 SCCM
조절기 2: 1~199 SCCM
조절기 3: 1~199 SCCM
조절기 4: 1~499 SCCM
조절기 5-9: 요청 시 측정 범위 사용자 정의 가능

기타 부품

가스 파이프 연결	가스 배입구로 사용되는 왼쪽 플랜지에 1/4“ 튜브 연결이 설치되어 있습니다. 각 MFC 스테이션에는 네 개의 1/4" 스웨이지록 튜브 연결 및 각 가스 경로에 대한 네 개의 개폐 밸브가 있습니다. 다섯 번째는 가스 배출용입니다. 1/4" PTFE 가스 파이프는 표준 패키지에 포함되어 있습니다.
배송 정보	치수	로스트: 550 x 380 x 520mm MFC 스테이션: 600 x 600 x 700mm HV 스테이션: 600 x 600 x 700mm
	무게	순 무게: 100Kg 배송 무게: 350 lb (두 개의 팔레트)
보증	1년 한정 보증 (소모품 부품인 처리 튜브, O-링, 가열 요소는 보증에 포함되지 않습니다. 해당 제품을 아래에서 주문해 주십시오.)
적합성	CE/UL/CSA 인증 옵션 바에서 인증서를 선택하십시오: CE 인증 및 UL/CSA 인증을 추가 비용으로 신청할 수 있습니다. UL 인증 - UL 승인(UL 61010)
경고	석영 튜브가 장착된 튜브 로스트는 진공 및 저압 < 0.12 MPa(절대 압력)에서만 사용하도록 설계되었습니다. 주의: 가스 실린더에 두 단계 압력 조절기를 설치하여 안전한 작동을 위해 압력을 3 PSI 이하로 제한해야 합니다. 가스를 위한 유량은 튜브에 대한 열 충격을 줄이기 위해 < 200 SCCM (또는 200 ml/min)으로 제한해야 합니다. 모든 석영 튜브 로스트의 진공 한계 정의: *진공 압력은 1000℃까지만 안전하게 사용할 수 있습니다.

*위 제품 정보는 이론적인 데이터를 기반으로 하며 참고용입니다. 실제 사양은 다를 수 있습니다.

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