1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV 설명
1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV는 60mm 직경의 알루미나 튜브, 기계식 진공 펌프 및 3채널 가스 흐름 시스템을 갖춘 3존 튜브 용광로입니다. 샘플을 최대 1700°C까지 가열할 수 있으며 최대 5x10^-2 torr의 진공 수준에 도달할 수 있습니다. 용광로 시스템은 화학 증기 증착(CVD) 또는 확산 공정에 필수적인 1-3종의 가스를 정밀하게 혼합할 수 있습니다. 또한, 공격적인 가스에서도 정확한 진공 측정을 제공하는 내식성 피라니 용량식 다이어프램 게이지가 장착되어 있습니다.
1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV 사양
용광로 구조
|
- 공기 냉각이 가능한 이중 강철 외함: 두 개의 내부 냉각 팬이 외부 케이스 온도를 55°C 이하로 유지하여 신뢰성을 향상시킵니다.
- 고순도 섬유 알루미나 단열재: 운전 중 열 손실을 최소화하여 에너지 효율을 극대화합니다.
- 독립적인 3개의 난방 구역: 3개의 정밀 온도 조절기로 제어되어 서로 다른 구역에서 정밀하고 균일한 가열이 가능합니다.
|
전력
|
10 KW, AC 208-240V 단상, 50/60 Hz
|
가열 구역
|
총 25" (630 mm) 가열 구역(두 개의 내화 분리대 포함)으로 3개 구역입니다.
- 구역 1: 7.5" (190 mm), 4개 U형 SiC로 가열됨
작동 온도 800 - 1400°C
가열 속도: 10°C/분
- 구역 2: 10" (250 mm), 6개 U형 MoSi2로 가열됨
작동 온도 800 - 1700°C
최대 가열 속도: 5°C/분
- 구역 3: 7.5" (190 mm), 4개 U형 SiC로 가열됨
작동 온도 800 - 1400°C
최대 가열 속도: 10°C/분
|
튜브 크기 및 플랜지
|
- 99.8% 순도 알루미나 튜브
- 2-3/8" (60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) 길이
- 밸브 및 계측기가 포함된 60 mm 스테인리스 스틸 진공 밀폐 플랜지
- 플랜지를 열 복사로부터 보호하기 위해 두 개의 다공성 세라믹 블록이 포함되어 있습니다.
|
온도 제어
|
- 3개의 정밀 온도 조절기로 3개 구역을 개별적으로 제어합니다.
- SCR(실리콘 제어 정류기) 전력 제어를 통한 PID 자동 제어, 위상 각 발화 및 전류 제한 저항으로 구성됩니다.
- 가열 속도, 냉각 속도 및 대기 시간을 정밀하게 제어하기 위해 30개의 프로그래머블 세그먼트가 제공됩니다.
- 내부 과열 및 파손된 열전대 보호 기능이 포함되어 있습니다.
- 온도 과다 보호 및 경고 장치로 주의 없이 운전할 수 있습니다.
- ± 1 ºC 온도 정확도.
- RS485 통신 포트.
|
진공 게이지
|
- 부식 방지 세라믹 코팅 센서 헤드가 장착된 용량식 다이어프램 게이지로 공격성 가스가 있는 진공 측정을 위해 특별히 설계되었습니다.
- 게이지는 튜브 용광로의 진공 플랜지(오른쪽 측면)에 설치되어 있으며 넓은 측정 범위(10^-5 ~ 1000 torr)를 제공합니다.
|
치수
|
550 x 380 x 520 mm
|
진공 펌프
|
헤비 듀티 로터리 베인 진공 펌프(7.8 CFM -240 L/m)와 이중 단계 배기 시스템이 진공 스테이션 내부에 설치되어 있습니다. 진공 시스템은 펌핑 시작 후 30분 이내에 5x10-2 torr에 도달할 수 있습니다.
1개의 KFD25 어댑터가 플랜지에 설치되어 진공 펌프와 연결됩니다.
|
3채널 가스 혼합 및 전달 시스템
|
- 3개의 가스 흐름 미터(정도 = 4% FS)가 이동식 케이스에 설치되어 있으며, 총 3종의 가스의 유량을 모니터링할 수 있습니다.
1) 컴팩트 직접 읽기 유량계, 10-100 cc/min.
2) 컴팩트 직접 읽기 유량계, 16-160 cc/min.
3) 컴팩트 직접 읽기 유량계, 25-250 cc/min.
- 혼합 탱크의 압력을 모니터링할 수 있는 1개의 압력계가 이동식 카트에 설치되어 있습니다.
- 이동식 카트에 4개의 스테인리스 스틸 니들 밸브가 설치되어 있습니다.
- 즉시 사용하기 위해 제공되는 2개의 가스 흐름 파이프(혼합된 두 가지 가스로부터 하나, 다른 하나는 독립적인 가스용)가 포함되어 있습니다.
|
전원 케이블 및 플러그
|
- 10피트 길이의 8-3 AWG 중량급 UL 승인을 받은 전원 케이블이 포함됩니다.
- 플러그는 포함되어 있지 않으며, 실험실의 여성 플러그에 맞춰 지역 하드웨어 상점에서 주문할 수 있습니다.
|
치수
|
용광로: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H 인치)
가스 카트: 850 mm (L) x 600 mm (W) x 700 mm (H)
|
순중량
|
150Kg (용광로) + 100Kg (총 550lb)
|
배송 무게
|
800 lbs
|
배송 치수
|
두 개의 케이스가 하나의 팔레트에 있음: 45x45x35/케이스
|
보증
|
1년 제한 제조업체 보증 (소모품 부품인 처리 튜브, O링 및 가열 요소는 보증 범위에 포함되지 않으며, 관련 제품에서 교체품을 주문하십시오).
|
준수
|
CE 인증
UL / MET / CSA 인증은 요청 시 제공되며, 추가 비용이 발생할 수 있습니다.
|
경고
|
- 알루미나 튜브가 장착된 튜브 용광로는 진공 및 저압 < 0.2 Bar/ 3 PSI에서 사용하도록 설계되었습니다.
- 알루미나 튜브에서 그래파이트 크루시블을 사용하지 마십시오.
- 주의사항: 가스 실린더에는 안전 운전을 위해 3 PSI 이하의 압력을 제한하기 위해 이중 단계 압력 조절기가 설치되어야 합니다.
- 가스의 흐름 속도는 < 200 SCCM(또는 200ml/min)으로 제한해야 합니다.
- 모든 알루미나 튜브 용광로에 대한 진공 한계 정의: * 진공 압력은 1500°C 이하에서만 안전하게 사용할 수 있습니다.
|
1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV 응용 분야
기체 대기가 제어된 상태에서 기판에 얇은 필름과 코팅을 증착할 수 있습니다.
반도체 제조, 표면 코팅 및 나노 물질 합성에 사용됩니다.
고체 재료 내에서 원자 또는 분자의 제어된 이동을 촉진합니다.
반도체 재료의 도핑 및 재료 특성 개선에 필수적입니다.
재료 결정성을 개선하고 결함을 제거하기 위한 어닐링 공정에 이상적입니다.
세라믹 및 금속의 소결을 지원하여 밀도를 높이고 기계적 특성을 향상시킵니다.
고온에서 재료의 거동 및 특성을 연구하는 데 적절한 환경을 제공합니다.
연구실에서 새로운 재료와 공정을 탐구하는 데 필수적입니다.
1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV 포장
우리의 1700C 3존 알루미나 튜브 용광로 GSL-1700X-III-F3LV는 원래 제품의 품질을 유지하기 위해 보관 및 운송 중에 신중하게 취급됩니다.